SEMEDX在测表面元素的时候测得多深？拜托了各位 谢谢

二次电子扫描象的分辨本领最高，约等于入射电子束直径，一般为6-10nm深，主要用于测试表面形貌；背散射电子为50-200 nm深，可以测表面形貌，也可以得到表面成分衬度；吸收电子和X射线为100-1000nm深，这些信号主要用来得到表面元素。 查看原帖>>

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应该是景深吧``

焦深计算公式

L= ±[(r/M)-d]/2α 其中：

L: 焦深

r: 显像管最小分辨距离

M：放大倍数

d：入射电子束直径

2α：物镜孔径角。

从上面的式子可以看出影响焦深的因素，其中隐含了工作距离w。物镜孔径角与工作距离和入射电子束直径有关。由于r（显像管的分辨率）和2α都是未知数，实际上不能计算。焦深也只是个人的视觉感受，还是直观的测量一下为好。

又查了资料``显像管最小分辨距离为0.22mm-0.3mm, 孔径角的典型数值为10-2—10-3rad.利用公式L= ±[(r/M)-d]/2α可以计算出在有效放大倍率下的焦深数据。设d=3纳米，孔径角2α=10-2 rad，r=0.3mm。计算焦深如下：

1000倍下为59.4微米。5000倍下为11.4微米。10000倍下为5.4微米。超过100000倍已经超过了有效放大倍率。不能计算。

EDX，全称Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy，能量色散X射线光谱仪，EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的；

根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。

通常EDX结合电子显微镜使用，可以对样品进行微区成分分析。

扩展资料：

在包含某种元素1的样品中，照射一次X射线，就会产生元素1的荧光X射线，不过这个时候的荧光X射线的强度会随着样品中元素1的含量的变化而改变。

元素1的含量多，荧光X射线的强度就会变强，注意到这一点，如果预先知道已知浓度样品的荧光X射线强度，就可以推算出样品中元素1的含量。

采用定量分析的时候，可以在样品中加入高纯度的二氧化硅，作为参比样，并且掺量是已知的。这样可以间接知道其他组分的含量。

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