SEM制样时样品为什么要干燥

SEM制样时样品为什么要干燥,第1张

1、高真空环境是分子流,湿的样品不断释放水蒸气,使高真空情况下,真空度很难上升,往往达不到比较优越的条件。

2、水蒸气和2000多度高温的钨丝反应,会加速电子枪灯丝挥发,极大降低灯丝寿命。

3、对电子束的散射,会造成信号损失

4、污染样品

不影响机器正常使用。扫描电镜SEM用电子束扫描样品表面,收集携带电子束与样品相互作用信息的反射电子。样品台有它的额定的数值和移动距离,包括平面方向和上下方向,平面方向移动到极限时会有报警提示,如果样品仓内残留有空气,数值不正确,空气原子与电子束相互作用,部分偏转电子,并在图像上增加噪声,影响使用,因此需要真空达到一定数值才能开高压。


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