SEM、TEM、XRD、AES、STM、AFM的区别

SEM、TEM、XRD、AES、STM、AFM的区别主要是名称不同、工作原理不同、作用不同、

一、名称不同

1、SEM，英文全称：Scanningelectronmicroscope，中文称：扫描电子显微镜。

2、TEM，英文全称：TransmissionElectronMicroscope，中文称：透射电子显微镜。

3、XRD，英文全称：Diffractionofx－rays，中文称：X射线衍射。

4、AES，英文全称：AugerElectronSpectroscopy，中文称：俄歇电子能谱。

5、STM，英文全称：ScanningTunnelingMicroscope，中文称：扫描隧道显微镜。

6、AFM，英文全称：AtomicForceMicroscope，中文称：原子力显微镜。

二、工作原理不同

1．扫描电子显微镜的原理是用高能电子束对样品进行扫描，产生各种各样的物理信息。通过接收、放大和显示这些信息，可以观察到试样的表面形貌。

2．透射电子显微镜的整体工作原理如下：电子枪发出的电子束经过冷凝器在透镜的光轴在真空通道，通过冷凝器，它将收敛到一个薄，明亮而均匀的光斑，辐照样品室的样品。通过样品的电子束携带着样品内部的结构信息。通过样品致密部分的电子数量较少，而通过稀疏部分的电子数量较多。

物镜会聚焦点和一次放大后，电子束进入第二中间透镜和第一、第二投影透镜进行综合放大成像。最后，将放大后的电子图像投影到观察室的荧光屏上。屏幕将电子图像转换成可视图像供用户观察。

3、x射线衍射（XRD）的基本原理：当一束单色X射线入射晶体，因为水晶是由原子规则排列成一个细胞，规则的原子之间的距离和入射X射线波长具有相同的数量级，因此通过不同的原子散射X射线相互干涉，更影响一些特殊方向的X射线衍射，衍射线的位置和强度的空间分布，晶体结构密切相关。

4．入射的电子束和材料的作用可以激发原子内部的电子形成空穴。从填充孔到内壳层的转变所释放的能量可能以x射线的形式释放出来，产生特征性的x射线，也可能激发原子核外的另一个电子成为自由电子，即俄歇电子。

5．扫描隧道显微镜的工作原理非常简单。一个小电荷被放在探头上，电流从探头流出，穿过材料，到达下表面。当探针通过单个原子时，通过探针的电流发生变化，这些变化被记录下来。

电流在流经一个原子时涨落，从而非常详细地描绘出它的轮廓。经过多次流动后，人们可以通过绘制电流的波动得到构成网格的单个原子的美丽图画。

6．原子力显微镜的工作原理：当原子间的距离减小到一定程度时，原子间作用力迅速增大。因此，样品表面的高度可以直接由微探针的力转换而来，从而获得样品表面形貌的信息。

三、不同的功能

1．扫描电子显微镜（SEM）是介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察方法，可以直接利用样品表面材料的材料性质进行微观成像。

扫描电子显微镜具有高倍放大功能，可连续调节20000～200000倍。它有一个大的景深，一个大的视野，一个立体的形象，它可以直接观察到各种样品在不均匀表面上的细微结构。

样品制备很简单。目前，所有的扫描电镜设备都配备了x射线能谱仪，可以同时观察微观组织和形貌，分析微区成分。因此，它是当今非常有用的科学研究工具。

2．透射电子显微镜在材料科学和生物学中有着广泛的应用。由于电子容易散射或被物体吸收，穿透率低，样品的密度和厚度会影响最终成像质量。必须制备超薄的薄片，通常为50～100nm。

所以当你用透射电子显微镜观察样品时，你必须把它处理得很薄。常用的方法有：超薄切片法、冷冻超薄切片法、冷冻蚀刻法、冷冻断裂法等。对于液体样品，通常挂在预处理过的铜线上观察。

3X射线衍射检测的重要手段的人们意识到自然，探索自然，尤其是在凝聚态物理、材料科学、生活、医疗、化工、地质、矿物学、环境科学、考古学、历史、和许多其他领域发挥了积极作用，不断拓展新领域、新方法层出不穷。

特别是随着同步辐射源和自由电子激光的兴起，x射线衍射的研究方法还在不断扩展，如超高速x射线衍射、软x射线显微术、x射线吸收结构、共振非弹性x射线衍射、同步x射线层析显微术等。这些新的X射线衍射检测技术必将为各个学科注入新的活力。

4，俄歇电子在固体也经历了频繁的非弹性散射，可以逃避只是表面的固体表面原子层的俄歇电子，电子的能量通常是10～500电子伏特，他们的平均自由程很短，约5～20，所以俄歇电子能谱学调查是固体表面。

俄歇电子能谱通常采用电子束作为辐射源，可以进行聚焦和扫描。因此，俄歇电子能谱可用于表面微观分析，并可直接从屏幕上获得俄歇元素图像。它是现代固体表面研究的有力工具，广泛应用于各种材料的分析，催化、吸附、腐蚀、磨损等方面的研究。

5．当STM工作时，探头将足够接近样品，以产生具有高度和空间限制的电子束。因此，STM具有很高的空间分辨率，可以用于成像工作中的科学观测。

STM在加工的过程中进行了表面上可以实时成像进行了表面形态，用于查找各种结构性缺陷和表面损伤，表面沉积和蚀刻方法建立或切断电线，如消除缺陷，达到修复的目的，也可以用STM图像检查结果是好还是坏。

6．原子力显微镜的出现无疑促进了纳米技术的发展。扫描探针显微镜，以原子力显微镜为代表，是一系列的显微镜，使用一个小探针来扫描样品的表面，以提供高倍放大。Afm扫描可以提供各类样品的表面状态信息。

与传统显微镜相比，原子力显微镜观察样品的表面的优势高倍镜下在大气条件下，并且可以用于几乎所有样品（与某些表面光洁度要求）并可以获得样品表面的三维形貌图像没有任何其他的样品制备。

扫描后的三维形貌图像可进行粗糙度计算、厚度、步长、方框图或粒度分析。

纳米科学与基因工程、智能技术一起被世界学术界称为人类21世纪三大尖端技术。那么，纳米科学是什么？它又为什么被称为尖端技术呢？首先，纳米是长度单位，1纳米等于十亿分之一米，人的1根头发就有6万纳米那么粗！当物质的尺度达到纳米级别时，性质是否会发生变化？或者会有什么奇特的性质呢？纳米科学就是为了研究和回答这些问题的。研究发现，当物质的尺度达到纳米级别时，性质会发生巨大的改变，展现出独特的光学、力学等性质，例如，将金属的纳米颗粒制成块状金属材料，其强度比一般金属高十几倍。

研究纳米材料时首先需要了解它的样子。纳米技术的研究范围为1～100纳米，这样的尺寸用普通的光学显微镜是观测不到的。直到20世纪30年代，科学家发明了电子显微镜，包括透射电子显微镜（TEM）和扫描电子显微镜(SEM)，大大提升了对物质的分辨率，透射电子显微镜的分辨率甚至可以达到几纳米。另外，2014年获得诺贝尔化学奖的超高分辨率荧光显微镜也突破了光学衍射极限，可以达到低于200纳米的分辨率，这些技术和工具在纳米科学研究中都是不可或缺的。

下面几幅作品，是研究人员发现的或奇特或美丽的纳米结构，它们的出现为略显枯燥的科研生活增添了一抹亮色，让我们一起来欣赏吧！

1.喷薄欲出

取图仪器：SEM，S-4800

图片介绍：图中薄薄的一层纱是氧化石墨烯，纳米球则是由银/卤化银组成。一个形貌良好的纳米结构，不仅有助于我们探索结构与性能的关系，为获得高性能功能材料提供参考，而且还可以激起研究人员的兴趣，有利于研究成果的推广。本图作者用此图片作为研究成果的图文摘要，引起了同行的极大关注，在五年内被引用超过300余次，入选为高被引论文。

2.玩偶之家

取图仪器：扫描电镜S-4800

图片介绍：将有机物在乙醇中加热溶解，冷却后形成沉淀，呈现出的结构如同各式的积木相接。小时候的你是否也有一个玩偶之家的梦想？这种结构不仅漂亮，而且简单的合成方法也使这种结构可以得到广泛的应用。

3.纳米螃蟹

取图仪器：正直偏光显微镜

图片介绍：有机材料具有可修饰性，通过改变其组成可以在很大范围内调整其性能，这是有机材料优于无机材料的主要特点。为了更好地调控有机材料的性能，研究人员需要研究单一变量对材料性能的影响，所以需要制备有机单晶。物理气相沉积是制备有机单晶的主要方法之一。图片是在物理气相传输过程中形成的花样，组成了两只大小各异的螃蟹，它们神态自然，憨态可掬，惟妙惟肖！

4.时间之花

取图仪器：扫描电镜S-4800

图片介绍：铜（Cu）无机配位聚合物，静置扩散十五天。在十五天的缓慢孕育中，这种配合物材料绽放了，不仅给科研人员带来欣喜，这种独特的形貌也将带来独特的应用。

5.微观世界的冰糖葫芦

取图仪器：JEOL JSM-6700F型扫描电镜

图片介绍：人体中的牙齿、骨骼都是生物矿物，均由无机和有机材料组成，有机材料如蛋白质等如何调控无机矿物的形貌和生长对我们理解生物矿化过程十分重要。图中的“葫芦”是碳酸钙，也是自然界中含量最丰富的生物矿物，葫芦棒是聚丙烯丝，是一种疏水的有机材料，从图中我们可以看到这种有机材料可以调控碳酸钙的形貌和晶型。

怎么样？在显微镜下呈现出来的纳米世界是不是千姿百态？犹如雕琢后的惟妙惟肖，再加上色彩的渲染更是形象逼真。就像神奇的大自然带给我们的惊喜一样，这些微小的结构也不禁让我们感叹科学的奇妙。下次听说生活中的纳米材料时，如果你搜索一下这个材料背后的故事，也许就会发现一个神奇的世界！

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