请问Si基底制SEM样,我把样品滴在基底上,多久后才用水淋洗和氮气吹啊?我的样是Si线,之前基底已经洗过

请问Si基底制SEM样,我把样品滴在基底上,多久后才用水淋洗和氮气吹啊?我的样是Si线,之前基底已经洗过,第1张

应该是自然干燥或者在烘箱中干燥,不能再用水淋洗,用氮气吹可能会把样品吹落。

Si线可能有导电性,但也需要用导电胶带固定。用帖有双面导电胶带的样品杯按压一下硅片,把样品转移到样品杯上。

15MPa。

氮气瓶正常使用中,一般内部压力为15MPa,即最高使用压力,因为我国有着严格规定的即永久气体气瓶充装压力系指在摄氏温度为20度时最高充装压力,15MPa,这就是说永久气体钢瓶最高压力就是15Mpa。而作为永久气体中的氮气钢瓶,内部压力最高不超15Mpa。

只有那些在液氮温度下会吸附氦气的样品,无法用氦气标定冷自由空间,就只能在实际样品测试前,用氮气和空管或标样来标定冷体积空间参数,此参数用于真正的样品测试计算中,可见用氮气标定冷自由空间是不得已的选择。一般情况下,如果样品在低温下不吸附氦气,则应该选用氦气来标定冷自由空间,这样的测试模式更科学些。实验表明,只有极少数活性炭类微孔样品会在低温下吸附氦气,绝大多数样品在低温下不会吸附氦气。如果多找几位使用国外仪器的专业人士了解下,看看他们实际操作中选用哪种模式,答案就应该明确了,这方面,作为这个行业的权威,麦克(Micromeritics)公司的产品应该最有说服力。

两种方式标定冷自由空间比较:

1. 用氦气实时标定,操作简单且科学,测试过程 中受外界环境温度等因素的影响小,测试过程可实现完全自动化。不必考虑选用哪根样品管,不必测试样品的真密度,所有的参数都实时由仪器自动测定,所有参数 反映的也是实时的参量,所以测试结果的准确性和重复性好,另外人为操作的因素对测试结果的影响也很小。

2.如果采用氮气来标定,对每一根样品管都需要 进行前期标定工作(包括冷自由空间和热自由空间),每一次样品测试时都需要测定样品的真密度,这样的测试模式对于操作者来说相对比较繁琐,最大的弱点是: 由于许多参数是在测试前标定的,而实际测试时的环境温度、液氮温度及液氮面高度都会与标定时有所差别,即测试前标定的参数不是实时参量,这样容易导致测试 结果的重复性不理想,另外容易引入认为操作误差(如样品管连接时与接头部位的空隙大小)


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