如何获得清晰的扫描电镜(SEM)图像

如何获得清晰的扫描电镜(SEM)图像,第1张

1、制样:成功制备出所要观察的位置样品如果不导电,可能需要镀金

2、环境:电镜处在无振动干扰和无磁场干扰的环境下

3、设备:电镜电子枪仍在合理的使用时间内

4、拍摄:找到拍摄位置,选择合适距离,选择合适探头→对中→调像散→聚焦,反复操作至最清晰

可在样品仓内加装光学相机来拍摄照片,

以往通过经验寻找目标位置,现在可在显示屏上直接操作。在拍摄SEM图像时,由于TM4000和TM4000Plus配置双轴马达,原来需手动调整的操作,现在只需在显示器上选择要观察的位置即可。

寻找目标位置:指确认正在观察的样品位置和寻找要观察的样品位置的操作。一般情况下,电子显微镜放大倍率较高,不仅仅需要观察局部图像,还要观察整体的图像。

*2双轴马达台:根据操作人员的观察需求,可自动将样品移动到SEM图像拍摄位置的装置。

在确认拍摄的SEM图像时,由于SEM图像放大倍率高,找到所有SEM图像的观察位置需要花费一定时间。而这种机型可使用软件将低倍率和高倍率SEM图像的位置关系进行关联,并将结果显示在显示器上,使各图像的位置更为直观。


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