扫描电镜真空达到一定数值才能开高压的原因

不影响机器正常使用。扫描电镜SEM用电子束扫描样品表面，收集携带电子束与样品相互作用信息的反射电子。样品台有它的额定的数值和移动距离，包括平面方向和上下方向，平面方向移动到极限时会有报警提示，如果样品仓内残留有空气，数值不正确，空气原子与电子束相互作用，部分偏转电子，并在图像上增加噪声，影响使用，因此需要真空达到一定数值才能开高压。

样品台移动EBSD扫描模式可以做大范围织构检测，具体尺寸受电镜样品台本身可移动的范围。虽然EBSD可以通过样品台移动扫描模式或者电子束扫描模式多图扫描后拼图来低倍检测较大范围的织构，但自己尝试过多次，效果不是很好。EBSD优点是做微区的晶体织构分析，宏观织构测定优选XRD（比EBSD准确，制样简单，费用低）。

总体来说由于做EBSD样品需要倾斜70°，样品过大过重，高倍长时间扫描时容易发生飘逸，所以EBSD样品小点好。

上述为个人观点，希望对你有帮助。

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