用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样才能保证导电性足够好？

想准确测定厚度还是很麻烦的，关键就在于制样，关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的，标准名称我不太记得了，改天给你发过来也行（如果需要），大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍，然后把材料固化在树脂中，再做截面，或者抛光，然后再测定，关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题，喷金或者喷碳就可以解决.

业内有两种主流方法：

其一，是Cola Test，就是用一定直径的钢球，滚动摩擦被检测工件的表面，得到一组基材、涂层的同心圆，然后用显微镜测量尺寸，通过公式计算得出涂层厚度。这种方法为有损检测，但是比较准确

其二，采用X射线衍射的方法（XRF），测量涂层厚度。这种方法无损、快速，准确度也可以

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