SEM背散射电子下，原子系数越大是越亮还是越暗，二次电子下是不是相反的。

背散射电子是发射电子被样品弹性碰撞弹回来的，所以原子序数大的原子越大，弹性碰撞的概率越大，所以原子序数大的背散射电子强度的大；二次电子是从样品表面发射的电子，跟原子序数没关系，跟样品的表面形态有关，因为撞击角度90度是二次电子基本么有，倾斜装机的二次电子产率就很高了，所以二次电子像是跟样品观察角度有关的。

1、二次电子探测器：材料元素原子序数越大，激发出的信号越少，信号强度越低，表现出电镜图像越暗

2、背散射电子探测器：材料元素原子序数越大，激发出的信号强度越高，表现出电镜图像越亮

3、能谱仪：材料不同元素激发出特征X射线，收集时间越长，累积的强度越大

产生X射线的最简单方法是用加速后的电子撞击金属靶.撞击过程中，电子突然减速，其损失的动能会以光子形式放出，形成X光光谱的连续部分，称之为制动辐射。

通过加大加速电压，电子携带的能量增大，则有可能将金属原子的内层电子撞出.于是内层形成空穴，外层电子跃迁回内层填补空穴，同时放出波长在0.1纳米左右的光子。

由于外层电子跃迁放出的能量是量子化的，所以放出的光子的波长也集中在某些部分，形成了X光谱中的特征线，此称为特性辐射。

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