你提到想用SEM+EDS做锈层元素分布。估计你的目的是要分析腐蚀过程中元素的迁移情况。这个有意义的位置不在锈蚀下来的铁锈本身,而是在基体锈蚀层的表层。原因是,基体之所以发生腐蚀失效,是与基体抵抗腐蚀介质的能力、腐蚀介质与基体间的相互作用机制(腐蚀机理)等相关的。例如,你所讲的铸钢,在通常的盐雾试验后,其表面的腐蚀到底是均匀腐蚀、还是非均匀腐蚀(孔蚀)?是化学腐蚀、电化学腐蚀还是符复合机制?是沿晶界还是穿晶腐蚀?等等这些,都需要你对界面和基体表层进行分析观察。
希望你按照上面的分析思路能够有所收获。
就定量来说,SEM点分析比线分析和面分析更准确,扫描的方式不同,线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况(线分析是沿着某个界面的元素分布起伏,而面分析是看整个视场的元素分布情况),点分析可以基本定量分析元素。SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称,两者组合使用,功能非常强大,既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析,在各类分析工作中被广泛运用。
EDS mapping时间就长的多了,尤其是如果想得到比较确定的数据的话,一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸,由于收集时间比较长,样品漂移的影响更大,所以比eels mapping 差不少。
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