sem的eds和mapping什么区别

就定量来说，SEM点分析比线分析和面分析更准确，扫描的方式不同，线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况（线分析是沿着某个界面的元素分布起伏，而面分析是看整个视场的元素分布情况），点分析可以基本定量分析元素。

SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称，两者组合使用，功能非常强大，既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析，在各类分析工作中被广泛运用。

EDS mapping时间就长的多了，尤其是如果想得到比较确定的数据的话，一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸，由于收集时间比较长，样品漂移的影响更大，所以比eels mapping 差不少。

SEM(scanning electron microscope)：扫描式电子显微镜

EDS（Energy Dispersive Spectrometer）：X光微区分析

你当然可以这么做，只是误差比较大。

实际一般情况我们只需要知道相对量就好了，并不需要这么精确的数值。

如果确实需要精确数值，那需要标定，毕竟不同元素的响应值区别还是很大的。

实际上，你的ZSM-5的硅铝比就能验证，SEM数值跟化学法数值差距还是很大的；但这并不妨碍很多人直接用SEM数据表征他们样品的硅铝比

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