2020-02-08-2小刘科研笔记之FIB-SEM双束系统在材料研究中的应用

2020-02-08-2小刘科研笔记之FIB-SEM双束系统在材料研究中的应用,第1张

聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM)是在SEM的基础上增加了聚焦离子束镜筒的双束系统,同时具备微纳加工和成像的功能,广泛应用于科学研究和半导体芯片研发等多个领域。本文记录一下FIB-SEM在材料研究中的应用。

以目前实验室配有的FIB-SEM的型号是蔡司的Crossbeam 540为例进行如下分析,离子束最高成像分辨率为3nm,电子束最高分辨率为0.9nm。该系统的主要部件及功能如下:

1.离子束: 溅射(切割、抛光、刻蚀);刻蚀最小线宽10nm,切片最薄3nm。 

2.电子束 : 成像和实时观察

3.GIS(气体注入系统): 沉积和辅助刻蚀;五种气体:Pt、W、SiO2、Au、XeF2(增强刻蚀SiO2)

4.纳米机械手:  转移样品 

5.EDS: 成分定量和分布

6.EBSD : 微区晶向及晶粒分布

7.Loadlock(样品预抽室): 快速进样,进样时间只需~1min

由上述FIB-SEM的一个部件或多个部件联合使用,可以实现在材料研究中的多种应用,具体应用实例如下:

图2a和b分别是梳子形状的CdS微米线的光学显微镜和扫描电镜照片,从光学显微镜照片可以看出在CdS微米线节点处内部含有其他物质,但无法确定是什么材料和内部形貌。利用FIB-SEM在节点处定点切割截面,然后对截面成像和做EDS mapping,如图2c、d、e和f所示,可以很直观的得到在CdS微米线的节点处内部含有Sn球。

FIB-SEM制备TEM样品的常规步骤如图3所示,主要有以下几步:

1)在样品感兴趣位置沉积pt保护层

2)在感兴趣区域的两侧挖大坑,得到只有约1微米厚的薄片

3)对薄片进行U-cut,将薄片底部和一侧完全切断

4)缓慢移下纳米机械手,轻轻接触薄片悬空的一端后,沉积pt将薄片和纳米机械手焊接牢固,然后切断薄片另一侧,缓慢升起纳米机械手即可提出薄片

5)移动样品台和纳米机械手,使薄片与铜网(放置TEM样品用)轻轻接触,然后沉积pt将薄片和铜网焊接牢固,将薄片和纳米机械手连接的一端切断,移开纳米机械手,转移完成

6)最后一步为减薄和清洗,先用大加速电压离子束将薄片减薄至150nm左右,再利用低电压离子束将其减薄至最终厚度(普通TEM样品<100nm,高分辨TEM样品50nm左右,球差TEM样品<50nm)

一种如图4a所示的MoS2场效应管,需要确定实际器件中MoS2的层数及栅极(Ag纳米线)和MoS2之间的距离。利用FIB-SEM可以准确的在MoS2场效应管的沟道位置,垂直于Ag纳米线方向,提出一个薄片,并对其进行减薄,制备成截面透射样。在TEM下即可得到MoS2的层数为14层(图4c), Ag纳米线和MoS2之间的距离为30nm(图4b)。

图5是一种锰酸锂材料的STEM像,该样品是由FIB-SEM制备,图中可以看到清晰的原子像。这表明FIB-SEM制备的该球差透射样非常薄并且有很少的损伤层。

FIB-SEM还可以进行微纳图形的加工。

图6a 是FIB-SEM在Au/SiO2上制备的光栅,光栅周期为150nm,光栅开口为75nm。

图6b 是利用FIB-SEM在Mo/石英上做的切仑科夫辐射源针尖,针尖曲率半径为17nm。

图6c 是在Au膜上加工的三维对称结构蜘蛛网。

图6d 是FIB-SEM在硅上刻蚀的贺新年图案,图中最小细节尺寸仅有25nm。

FIB-SEM可以对材料进行切片式的形貌和成分三维重构,揭示材料的内部三维结构。大概过程如图7a所示, FIB切掉一定厚度的样品,SEM拍一张照片,重复此过程,连续拍上百张照片,然后将上百张切片照片重构出三维形貌。图7b是一种多孔材料内部3×5×2um范围的三维重构结果,其实验数据是利用FIB-SEM采集,三维重构是利用Avizo软件得到,其分辩率可达纳米级,展示了内部孔隙的三维空间分布,并可以计算出孔隙的半径大小、体积及曲率等参数。

利用FIB-SEM配有的纳米机械手及配合使用离子束沉积Pt,可以实现微米材料的转移,即把某种材料从一个位置(衬底)转移到特定位置(衬底),并固定牢固。图8是把四针氧化锌微米线从硅片转移到两电极的沟道之间,从而制备成两个微米线间距只有1um的特殊器件。

最后,FIB-SEM还有很多其他的应用,例如三维原子探针样品制备,芯片线路修改等。总之FIB-SEM是材料研究中一个非常重要的手段。

不积珪步,无以至千里;不积细流,无以成江海。做好每一份工作,都需要坚持不懈的学习。

相信很多厂家都一直在为客诉里面的低压和胀气而烦恼吧,那么,第一步,先选好您的隔膜;

在检测隔膜之前,您要知道隔膜重点检测的参数有哪些;

1、基本参数,包括:厚度、宽度、面密度(计算法)、弧度(卷绕很重要)等;这些都很简单,不详述了;

2、外观:白色,无毛刺,无毛边,光滑无皱,无污染,无划痕,无凝胶点,无黑色斑点,这些主要用看的;

3、针孔:用暗箱测试,很简单一个装置,用箱子罩住一个灯泡,箱子上开个小口,小装置,大用途,这些针孔的多少直接影响短路率;

用暗箱很容易发现针孔,如果不能辨别是否是针孔,可以照SEM,如下图片便是针孔的SEM图:

做过这么一个实验,将有针孔的和无针孔的同一品牌的隔膜做了测试,发现有针孔的短路率是无针孔的3倍,可见,针孔的检测是多么重要;

4、透气度:不同的透气度会影响电池的性能,例如倍率性能,内阻等等;如果波动太大,直接影响组装过程的短路,

所以,必须在样品认证的时候就规定好透气度的范围,量产后每批监控,波动范围不能超过50S/100CC;太大,就不能保证产品的一致性了。

透气度测试用Gurley指数测试仪就好了,进口的也才4万多一台,小投资,大回报;实在不想买的就送给我帮你们测试吧,少量收取费用,哈哈。

5、扫描电镜:没有条件的厂家必须在样品阶段送测,确认隔膜的成孔是否均匀,有没有破孔;通过SEM我们可以很直接的看到该厂家的产品一致性;

还可以知道该厂采用的工艺,湿法还是干法;世界各国的隔膜SEM图片我都有,而且定期会更新,积累很重要,从这些也可以看出哪些厂在进步。

量产后,有条件的话可以每批次送测。

6、其他参数:吸液性(就是用电解液浸泡,看吸收了多少量,浸泡时间自己规定,规定好了就不要变,这样方便对比);热缩率(一般90度烘烤4h,标准可以参照供应商测试结果,也可以根据工艺要求来定,一般的隔膜这一项都没问题);这些参数样品承认的时候测试一下就好了,前面5项不出问题,这些都不会有太大的问题。

7、免检项目:针刺强度、拉伸强度、抗腐蚀等;按照供应商给定的就好了,一般问题不大。

扫描电镜检测是材料微观形貌观察必不可少的研究手段,但水凝胶材料由于含有大量水分或有机溶剂,无法直接放入电镜中观察。电镜工作需要维持高真空环境,而水分在真空中会迅速挥发,导致图像异常甚至电镜故障。

因此,对于水凝胶样品,通常需要进行冷冻干燥处理,将水分去除后再进行拍摄。


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