电子显微镜 SEM 的指示灯的意思?

电子显微镜 SEM 的指示灯的意思?,第1张

可能你还没有机会接触更深,也就是说还没有机会上手操作,否则一定需要培训,简单培训过后,这些都必须知道,否则连开关机都不会。

虽然不同型号标识会略有不同,但通过意思还能判断的:

Power--电镜主机的电源开关

Air-- 基本是指泄真空,往真空室放气,这样才可以打开样品仓,或者电子枪室等。

扫描电镜是高真空系统,一般是由两级或者三级真空泵串联组成,通过真空阀门和真空测量器件共同进行自动逻辑控制。

START UP -- 开始抽真空 :第一次开机,更换样品后都需要重新抽真空,现在一般都是在软件中控制。软件中本身有指示灯,过去都在主机上用LED灯显示。只要保持抽真空状态,这个等一直亮。按AIR按钮后,真空泵停止运转,这个灯会灭。

SHUT DON-- 关机,不泄漏真空,但真空泵停止运转,可以关闭总电源,保持电镜真空腔体处于真空状态。

R.P,Ratary Pump 缩写,是前级泵,叫做旋片式机械真空泵,最高这空度0.1Pa,一般需要将真空室从大气压抽到10pa 以下。一般扫描电镜抽真空时间设计在3分钟以内。

M.P ,Molecular Pump缩写,是二级泵,叫做分子泵,必须在气体的分子流下工作,启动真空度在10pa 以下。

也不知道你接触的设备是哪个年代的,当前新设备基本都不用真空表,直接是数字显示实际真空度。

总之都是一个意思,估计你的设备比较老。

真空表0-10之间,0代表大气,10代表高真空,高压电源允许打开的真空度(高压电源是有真空保护装置的,真空达不到,好的电镜都会自动锁住高压电源开关,万一真空泄露,也会自动关闭高压电源)。

刚开机的时候,是因为真空室内的腔体处于一定真空状态,不是从大气开始抽的,表指示的是初始真空度,如果打开样品室,更换样品后再重新抽真空,就是从0开始了。

相同:都是电子枪即发射电子的装置,都有阴极和阳极, 阴极都是点源发射,阴极和阳极之间有直流高压电场存在,高压一般可调,用于控制电子的发射速度(能量),电子枪发射的电流强度很小,微安级别和纳安级别,为防止气体电离造成的大电流击穿高压电源,都需要高真空环境。电子枪阴极都属于耗材系列。

差异和优劣:

1、点源直径不同及优劣:

灯丝电子枪阴极使用0.1mm直径的钨丝制成V形(发叉式钨丝阴极),使用V形的尖端作为点发射源,曲率半径大约为0.1mm;场发射电子枪阴极使用0.1mm直径的钨丝,经过腐蚀制成针状的尖阴极,一般曲率半径在100nm~1μm之间。由于制作工艺上的差异,造价不同,发叉式钨丝阴极便宜,场发射阴极很贵。

2、发射机制不同和优劣

钨灯丝属于热发射,在灯丝电极加直流电压,钨丝发热,使用温度一般在2600K~2800K之间,钨丝有很高的电子发射效率,温度越高电流密度越大,理想情况下的的电子枪亮度越高。由于材料的蒸发速度随温度升高而急剧上升,因此钨灯丝的寿命比较短,一般在50~200小时之间,这个和设定的灯丝温度有关。由于电子发射温度高,发射的电子能量分散度大,一般2ev, 电子枪引起的色差会比较大。

场发射电子枪主要的发射机制不是靠加热阴极,而是在尖阴极表面增加强电场,从而降低阴极材料的表面势垒,并且可以使得表面势垒宽度变窄到纳米尺度,从而出现量子隧道效应,在常温甚至在低温下,大量低能电子通过隧道发射到真空中,由于阴极材料温度低,一般材料不会损失,因此寿命很长,可使用上万小时。

3、电子枪控制方式和电子源直径不同和优劣性。

钨灯丝是三极自给偏压控制,具有偏压负反馈电路,因此发射电流稳定度高;由于阴极发射点源面积大,因此电子源尺寸也比较大,50~100μm,发射可达几十~150μA,但电子枪的亮度低,因此当电子束斑聚焦到几个纳米的时候,总的探针电流很小, 信噪比太低是限制图像分辨率的根本因素,当前最佳钨灯丝扫描电镜最佳分辨率3.0nm.

场发射电子枪没有偏压负反馈电路,外界电源的稳定度是决定因素,发射电流稳定度相比要低一些;由于尖阴极发射电源面积很小100nm左右,没有明显的电子源,因此使用虚电子源作为电子光学系统设计的初始物而存在,电子虚源直径一般在2~20nm,电子枪亮度相比钨灯丝提高上千倍。当束斑尺寸缩小到1nm以下时依然具有足够强的探针电流来获得足够的成像信号,因此分辨率高,当前最佳的场发射扫描电镜分辨率实现了亚纳米级别。

4、系统真空度不同及优劣

钨灯丝扫描电镜使用一般的高真空,两级真空泵系统获得0.001pa的真空度即可满足,因此造价低。

场发射扫描电镜使用超高真空,需要三级真空泵必须获得0.0000001Pa以上的真空度才可以稳定工作。原因在于电子枪尖阴极不耐较低的真空中被电离的离子轰击,否则枪尖很容易被扫平而失效,这时候的性能还不如钨灯丝,其次电子枪阴极尖端在较低的真空下,吸附的气体分子会急剧加大阴极材料的表面势垒,造成电子枪发射不稳,亮度降低,所以必须使用超高真空一般是10的-8次方。 超高真空系统的造价明显比钨灯丝高很多。超高真空的洁净度要好于钨灯丝的一般高真空,因此很长时间,也就是在灯丝寿命内,系统可以免清洗和维护。钨灯丝扫描电镜相对维护周期要短一些。

5、钨灯丝和场发射是具有明显档次差异的,这也从价格上明确反映。钨灯丝扫描电镜十几万,场发射几十万,都是美元。国内目前只能制造最低档次的钨灯丝扫描电镜。

以上定性表达,具体数据还望查阅有关资料

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