【求助】纳米薄膜制备与材料表征需要什么仪器设备

请问现在世界上最好纳米薄膜制备与材料表征需要什么仪器设备，分别是哪个国家哪个公司的最好？本人对纳米薄膜的制备及表征不是很懂，希望路过的人给你帮助，我再做细致的调研，越详细越好，越多越好。 如果制备的话，很多用MBE或者MOCVD吧，表征的话可以用SEM，AFM，XRD，XPS等等，你得看你具体的样品，xuejiang(站内联系TA)长春应用化学研究所有人在做纳米薄膜，你可以问一下，制备仪器不算贵。表征的话就用SEM，tem，xrd等。汉王重出江湖(站内联系TA)磁控溅射仪，AFM，XRD，XPSlff0432(站内联系TA)“最好的”需要很多钱，比如很好的XPS和AFM请问现在世界上最好纳米薄膜制备与材料表征需要什么仪器设备，分别是哪个国家哪个公司的最好？本人对纳米薄膜的制备及表征不是很懂，希望路过的人给你帮助，我再做细致的调研，越详细越好，越多越好。 等待高手回答ylkbyd007(站内联系TA)可以用MBE 磁控溅射、LB拉膜机、真空蒸镀。表征 可以用 AFM ＸＲＤ TEM SEMpaperhunter(站内联系TA)NOVA系列全自动比表面和孔径分布分析仪纳米粒度仪（Dylisizer-2）cai_yuanyuan(站内联系TA)可以用MBE 磁控溅射、LB拉膜机、真空蒸镀。表征 可以用 AFM ＸＲＤ TEM SEM贝壳摩尔(站内联系TA)低角度X射线衍射及X射线反射率测量！mengyonghong(站内联系TA)表征纳米薄膜层构参数和光学参数，最长用的是椭偏仪，包括：光谱椭偏仪、激光椭偏仪，还有专门用于过程监控的在线椭偏仪。国外厂家：美国1家、德国1家、法国2家（分别被日本和匈牙利收购了）；国内厂家：1个专业椭偏仪器厂家（北京量拓），以及几个有椭偏仪的厂家竹林风bamboo(站内联系TA)一般做出来后，XRD,SEM(表面和截面)这些是必须的。XRD可以分析结构相，有人根据XRDd 三强峰来计算晶粒大小，我觉得这个不可靠，薄膜受基底影响，峰位和峰强都会有一定的改变的。表面SEM分析表面形貌，看是否有微裂纹（这个对纳米薄膜来说很重要，有微裂纹的薄膜基本上是失败了），晶粒大小与均匀度，表面粗糙度等等。还有很重要的是截面SEM,这个对纳米薄膜的表征是必须的。要说明你做的是纳米薄膜，就必须提供薄膜的厚度，以及薄膜与基底的结合情况。。。

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

这些方法包括气体吸附法、压汞法、电子显微镜法（SEM 或 TEM）、小角 X 光散射（SAXS）和小角中子散射（SANS）等。2010年，美国分散技术公司（DT）和美国康塔仪器公司还联合开发了电声电振法，比利时 Occhio 公司开发了图像法大孔分析技术。总体来说，每种方法都在孔径分析方面有其应用的局限性。

纵观各种孔径表征的不同方法，气体吸附法是最普遍的方法，因为其孔径测量范围从0.35nm到100nm以上，涵盖了全部微孔和介孔，甚至延伸到大孔。另外，气体吸附技术相对于其它方法，容易操作，成本较低。如果气体吸附法结合压汞法，则孔径分析范围就可以覆盖从大约0.35nm到1mm的范围。气体吸附法也是测量所有表面的最佳方法,包括不规则的表面和开孔内部的面积。

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