如何确定工件上氧化物涂层的物相、成分和厚度？

一般工件上的涂层是通过各种方式喷涂或屠夫上去的，所以厚度至少在百微米级。因此建议使用X射线衍射仪表征其物相（简称XRD，直接将涂层那一面放于检测位置）。这种涂层一般都是具有晶体结构的无机物，物相就可以认为是其成分。当然，还可以利用X射线荧光的方式再次鉴定成分（简称XRF），和X射线衍射的结果相印证。厚度比较简单，既然厚度至少在微米级，可以将工件切割出一部分置于光学显微镜或电子显微镜下观察（简称SEM），会有相应的尺寸显现出来。

可以把材料切一小块儿，然后镶样吧（就像磨小试样的金相一样），磨好后再喷金，然后再用SEM观察玻璃涂层的均匀性以及厚度吧。楼上说的掰断的方法，看是能看，但看的都是

断口

的形貌吧，是否会影响观察玻璃涂层的厚度呢。

---