sem扫描电镜是测什么的

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

EDS有好几种意思：

一种电子数字系统，EDS(Electronic Data Systems)是全球信息服务业领导者之一，以协助全球客户提高的运营绩效；

2. 一种测试方法，EDS(Energy Dispersive Spectrometer)，电子显微镜（扫描电镜、透射电镜）的重要附属配套仪器，结合电子显微镜，能够在1-3分钟之内对材料的微观区域的元素分布进行定性定量分析；

3. 为汽车的电子差速锁，EDS(Even-driven strategy)，使驱动力有效地作用到非打滑侧的车轮，保证汽车平稳起步；

4. 为电子设备学会，EDS(Electron Devices Society)；

若你说的不属于以上意思，可以参考百度百科“EDS”。

你当然可以这么做，只是误差比较大。

实际一般情况我们只需要知道相对量就好了，并不需要这么精确的数值。

如果确实需要精确数值，那需要标定，毕竟不同元素的响应值区别还是很大的。

实际上，你的ZSM-5的硅铝比就能验证，SEM数值跟化学法数值差距还是很大的；但这并不妨碍很多人直接用SEM数据表征他们样品的硅铝比

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