sem和tem中的电子探针的分析精度相同吗？如果不同，请说出为什么

SEM说俗了 就是用高速的电子打击标本 捕获打回来的电子 然后电脑分析 得到的图象就是物体表面的照片 和普通黑白照片没区别 只不过是很小很小的物体 在纳米级别上的迷你照片~ 电子探针就不一样了 全名为电子探针X射线显微分析仪

就定量来说，SEM点分析比线分析和面分析更准确，扫描的方式不同，线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况（线分析是沿着某个界面的元素分布起伏，而面分析是看整个视场的元素分布情况），点分析可以基本定量分析元素。

SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称，两者组合使用，功能非常强大，既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析，在各类分析工作中被广泛运用。

EDS mapping时间就长的多了，尤其是如果想得到比较确定的数据的话，一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸，由于收集时间比较长，样品漂移的影响更大，所以比eels mapping 差不少。

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