sem inlens模式什么意思

In lens是一个镜筒内光轴上的二次电子探头。

__eam Booster开启的前提下工作，主要用于成高分辨的二次电子像；SE1是镜筒外的二次电子探头，用于成常规二次电子像。

_SE是镜筒内光轴上的背散射电子探头，同样在Beam Booster开启的前提下工作，用于成样品表面背散射电子像。

聚焦离子束扫描电镜双束系统（FIB-SEM）是在SEM的基础上增加了聚焦离子束镜筒的双束系统，同时具备微纳加工和成像的功能，广泛应用于科学研究和半导体芯片研发等多个领域。本文记录一下FIB-SEM在材料研究中的应用。

以目前实验室配有的FIB-SEM的型号是蔡司的Crossbeam 540为例进行如下分析，离子束最高成像分辨率为3nm，电子束最高分辨率为0.9nm。该系统的主要部件及功能如下：

1.离子束： 溅射（切割、抛光、刻蚀）；刻蚀最小线宽10nm，切片最薄3nm。 

2.电子束 ： 成像和实时观察

3.GIS(气体注入系统)： 沉积和辅助刻蚀；五种气体：Pt、W、SiO2、Au、XeF2(增强刻蚀SiO2)

4.纳米机械手：  转移样品 

5.EDS： 成分定量和分布

6.EBSD ： 微区晶向及晶粒分布

7.Loadlock（样品预抽室）： 快速进样，进样时间只需~1min

由上述FIB-SEM的一个部件或多个部件联合使用，可以实现在材料研究中的多种应用，具体应用实例如下：

图2a和b分别是梳子形状的CdS微米线的光学显微镜和扫描电镜照片，从光学显微镜照片可以看出在CdS微米线节点处内部含有其他物质，但无法确定是什么材料和内部形貌。利用FIB-SEM在节点处定点切割截面，然后对截面成像和做EDS mapping，如图2c、d、e和f所示，可以很直观的得到在CdS微米线的节点处内部含有Sn球。

FIB-SEM制备TEM样品的常规步骤如图3所示，主要有以下几步：

1）在样品感兴趣位置沉积pt保护层

2）在感兴趣区域的两侧挖大坑，得到只有约1微米厚的薄片

3）对薄片进行U-cut，将薄片底部和一侧完全切断

4）缓慢移下纳米机械手，轻轻接触薄片悬空的一端后，沉积pt将薄片和纳米机械手焊接牢固，然后切断薄片另一侧，缓慢升起纳米机械手即可提出薄片

5）移动样品台和纳米机械手，使薄片与铜网（放置TEM样品用）轻轻接触，然后沉积pt将薄片和铜网焊接牢固，将薄片和纳米机械手连接的一端切断，移开纳米机械手，转移完成

6）最后一步为减薄和清洗，先用大加速电压离子束将薄片减薄至150nm左右，再利用低电压离子束将其减薄至最终厚度（普通TEM样品<100nm，高分辨TEM样品50nm左右，球差TEM样品<50nm）

一种如图4a所示的MoS2场效应管，需要确定实际器件中MoS2的层数及栅极（Ag纳米线）和MoS2之间的距离。利用FIB-SEM可以准确的在MoS2场效应管的沟道位置，垂直于Ag纳米线方向，提出一个薄片，并对其进行减薄，制备成截面透射样。在TEM下即可得到MoS2的层数为14层（图4c）， Ag纳米线和MoS2之间的距离为30nm（图4b）。

图5是一种锰酸锂材料的STEM像，该样品是由FIB-SEM制备，图中可以看到清晰的原子像。这表明FIB-SEM制备的该球差透射样非常薄并且有很少的损伤层。

FIB-SEM还可以进行微纳图形的加工。

图6a 是FIB-SEM在Au/SiO2上制备的光栅，光栅周期为150nm，光栅开口为75nm。

图6b 是利用FIB-SEM在Mo/石英上做的切仑科夫辐射源针尖，针尖曲率半径为17nm。

图6c 是在Au膜上加工的三维对称结构蜘蛛网。

图6d 是FIB-SEM在硅上刻蚀的贺新年图案，图中最小细节尺寸仅有25nm。

FIB-SEM可以对材料进行切片式的形貌和成分三维重构，揭示材料的内部三维结构。大概过程如图7a所示， FIB切掉一定厚度的样品，SEM拍一张照片，重复此过程，连续拍上百张照片，然后将上百张切片照片重构出三维形貌。图7b是一种多孔材料内部3×5×2um范围的三维重构结果，其实验数据是利用FIB-SEM采集，三维重构是利用Avizo软件得到，其分辩率可达纳米级，展示了内部孔隙的三维空间分布，并可以计算出孔隙的半径大小、体积及曲率等参数。

利用FIB-SEM配有的纳米机械手及配合使用离子束沉积Pt，可以实现微米材料的转移，即把某种材料从一个位置（衬底）转移到特定位置（衬底），并固定牢固。图8是把四针氧化锌微米线从硅片转移到两电极的沟道之间，从而制备成两个微米线间距只有1um的特殊器件。

最后，FIB-SEM还有很多其他的应用，例如三维原子探针样品制备，芯片线路修改等。总之FIB-SEM是材料研究中一个非常重要的手段。

不积珪步，无以至千里；不积细流，无以成江海。做好每一份工作，都需要坚持不懈的学习。

SEM是Search Engine Marketing的缩写，中文意思是搜索引擎营销。SEM是一种新的网络营销形式。SEM所做的就是以最小的投入在搜索引擎中获最大的访问量并产生商业价值。

一、SEM的重心之一，就是关键词的选择，而SEM选词最重要的原则就是要精准。这里说的精准，不仅仅是像SEO选词那样，只要选的词与网站业务有关，然后有一定搜索量，就OK。因为对于SEM来说，最终目的是要让用户掏银子，特别是竞价排名这块，点击一次就要付一次钱。所以SEM选词的精准要比SEO更深入和具体，简单的说，在SEO选词标准的基础上还要再增加两个条件：

1、搜索该词的人，有明确的消费需求与实力。

2、搜索该词的人，容易被转化成我们的用户。

二、SEM中引导页的设计

其实他们选的词中，一小部分词也是比较精准的。但是转换率也非常差，这是为什么呢？答案就是在引导页上下的功夫不足。首先和大家解释一下什么是引导页，引导页就是用户搜索一个词后，点击进去所看到的页面(也叫落地页)。在SEM中，将用户吸引到页面中，只是完成了第一步。而能不能让用户产生消费，则要看引导页能不能打动用户。这就好像传统营销方式中的会议营销，把用户拉到会场，只是第一步。具体能让多少用户签单，则要看讲师的功力了。一个成功的引导页，应该围绕用户行为及特点设计，至少应该符合四个要求：

1、能够给用户足够的信任感。

2、提供的内容是对用户有帮助的。

3、能够解答用户心中潜在的问题。

4、能够促使用户留下信息或与我们取得联系。

三、SEM中的数据监测与优化

实际上，该公司的网络推广工作，也不是一点效果没有。因为通过网络推广，每个月都会有报名的学员，只是效果不理想，并且成交量在不断下降。但是效果从何而来，他们说不清楚，只是大概猜测在门户发布的新闻稿起了作用。至于为什么成交量下降，就更说不明白了。

其实对于SEM来说，数据的监测与优化工作，才是最重要的一步。没有科学而完善的监测体系，那就好像盲人摸象，或者是闭着眼睛上战场。而像流量统计系统，也只能算做初级的数据监测。SEM工作想做好，还需要建立更细致、更科学的数据监测体系才行。比如说竞价排名这块，我们就要对关键词的点击数、总消费数、注册数、单笔订单额、订单数、订单转化率、注册CPA、ROI等数据进行监测。引导页这块，除了进行常规的流量监测外，还需要增加对咨询量与转换率方面的监测。

一旦这套体系建立起来，那就很容易发现问题和解决问题。比如说如果某关键词效果不理想，我们很容易就能从数据中分析出是因为词选的不靠谱，还是创意写的不吸引人，或者是引导页上下的功夫不足。

而且在有了数据的基础上，我们才可以进一步的进行渠道优化，使我们的推广工作达到事半功倍的效果。比如说对于竞价排名来说，我们就可以通过改进广告创意的方式，来监测不同创意之间的效果变化，继而找到最佳的创意组合。也可以通过改进引导页设计的方式，观察不同引导页之间的差异，找到最符合用户需求和心理的引导页设计等。

---