SEM制样时样品为什么要干燥

SEM制样时样品为什么要干燥,第1张

1、高真空环境是分子流,湿的样品不断释放水蒸气,使高真空情况下,真空度很难上升,往往达不到比较优越的条件。

2、水蒸气和2000多度高温的钨丝反应,会加速电子枪灯丝挥发,极大降低灯丝寿命。

3、对电子束的散射,会造成信号损失

4、污染样品

1、系统泄露;

2、真空泵换油

3、真空室热泄露

4、机械泵抽到50PA,也是很差的了,应该在10一下,

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