求大神帮解说一下什么是SEM XRD EDS 分析方法和原理 本人零基础 大体了解一下

SEM是扫描电子显微镜，最高可放大至20万倍左右，用二次电子成像的原理来观察某种物质的微观形貌。EDS是能谱仪，是每种元素对应的电子能不同，来鉴别元素，通常是和SEM结合使用，也就是说在SEM上安装EDS附件，在观看形貌时，选择一定区域用EDS打能谱，也就知道了该区域的元素组成。XRD是X射线衍射仪，其原理是高压下，阴极发出的电子形成高能电子束，轰击阳极靶材（通常是Cu），靶材的内部电子能量升高，被激发出来，当它回到基态的过程中，多余的能量以X射线、俄歇电子等形式释放出来。XRD收集的是其中的X射线，X射线扫到样品上，会根据布拉格方程产生衍射角，衍射峰。每种物质(不同样品)的衍射峰不同，因此通常用来鉴别物相，也会根据峰面积算半定量。

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

解释：

abbr. 扫描式电子显微镜（scanning electron microscope）；标准电子组件（Standard Electronic Modules）

n. (Sem)（泰、柬）森（人名）；(Sem)（西、挪）塞姆（人名）

读法：

英 [,es i: 'em]

用法：

SEM-EDS 能谱 能谱分析 扫描电镜

SEM-EDX 分析 能谱分析 能谱仪 谱分析

TSINGHUA SEM 理学院 清华经管学院 清华大学经济管理学院

近义词：

microscope

读法：

英 [ˈmaɪkrəskəʊp]  美 [ˈmaɪkrəskoʊp]

解释：

n. 显微镜

用法：

Scanning electron microscope 扫描电子显微镜 扫描电镜 扫描式电子显微镜 电子显微镜

Digital Microscope 数码显微镜 该相机还支持数码显微 数字显微镜 显微数码

petrographic microscope 岩相显微镜 岩相显微镱  [光] 岩石显微镜

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