可以测成分的,牛津仪器纳米分析部推出了可以在SEM里测量薄膜成分和厚度软件系统ThinFilmID。 ThinFilmID是利用EDS测量薄膜结构的成分和厚度。 这项技术是唯一基于SEM和EDS薄膜分析系统。
SEM的工作原理与使用方法 :
SEM的工作原理 扫描电镜(SEM)是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器。
当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性与非弹性碰撞,一些电子被反射出样品表面,而其余的电子则渗入样品中,逐渐失去其动能,最后停止运动,并被样品吸收。
在此过程中有99%以上的入射电子能量转变成样品热能,而其余约1%的入射电子能量从样品中激发出各种信号。
SEM所用的是能谱仪,精度不高,只能分析表面几十nm的深度范围,你用SEM做能谱时Ca,O元素都明显打出来了吗,另外你的材料里本身有没有S元素,含量如何,如果含量较少也可能打的不清晰。最后一点,你SEM时样品的衬底用的什么?会不会是衬底峰将S元素的峰掩盖 了欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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