EDX分析是什么

EDX，全称Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy，能量色散X射线光谱仪，EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的；

根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。

通常EDX结合电子显微镜使用，可以对样品进行微区成分分析。

扩展资料：

在包含某种元素1的样品中，照射一次X射线，就会产生元素1的荧光X射线，不过这个时候的荧光X射线的强度会随着样品中元素1的含量的变化而改变。

元素1的含量多，荧光X射线的强度就会变强，注意到这一点，如果预先知道已知浓度样品的荧光X射线强度，就可以推算出样品中元素1的含量。

采用定量分析的时候，可以在样品中加入高纯度的二氧化硅，作为参比样，并且掺量是已知的。这样可以间接知道其他组分的含量。

EDX指的是能量散射型X射线荧光光谱仪，也有人叫EDXRF。

EDS是能谱仪。

XRF是比EDS更准确的定量。

XRF的应用

a) X射线用于元素分析，是一种新的分析技术，但在经过二十多年的探索以后，现在已完全成熟，已成为一种广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域。

b) 每个元素的特征X射线的强度除与激发源的能量和强度有关外，还与这种元素在样品中的含量。

c) 根据各元素的特征X射线的强度，也可以获得各元素的含量信息。这就是X射线荧光分析的基本原理。

优点:

a) 分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。

b) X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定。

c) 非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。

d) X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。

e) 分析精密度高。

f) 制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。

缺点：

a）难于作绝对分析，故定量分析需要标样。

b）对轻元素的灵敏度要低一些。

c）容易受相互元素干扰和叠加峰影响。

其实是一样的，但是美国人一般叫EDS，英国人一般叫EDX，国内叫EDS的多。

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