最早的电子探针不能成像,将光学显微镜集成在电子光学镜筒中,使用光学显微镜观察组织形貌,然后调节偏转线圈,将电子束定位在感兴趣区域,使用x射线波谱仪对该区域的化学成分进行定性定量。电子探针主要应用在金属材料和矿物研究方面,对于金相学和岩相学的发展完善起到关键作用。
对于金属材料,断口失效微观分析是最需要经常观察的,在扫描电镜可以承担重任之前,都采用透射电镜复制断口形貌(C膜复形),采用扫描透射方式观察,费时费力。
可以直接观察断口形貌特征的扫描电镜,一直在极力发展当中,随着二次电子探测器的改进,和成像理论的完善,扫描电镜分辨率有了实质性提高,扫描电镜进入商品化发展阶段。金属材料粗糙断口微观形貌基本不再使用透射电镜,在扫描电镜之下一目了然,而且扫描电镜可以从肉眼可见的宏观区域到微米量级区域结构进行大景深很有立体感的观察,极大改善了研究条件。
随着扫描电镜技术突破,电子探针紧跟着进行改进,集成扫描电镜技术及X射线波谱技术,可以微观成像,在远超过光学显微镜视力范围的感兴趣区域进行精确化学成分分析。
扫描电镜进入商品化初期,分辨率距离理论分辨率还有非常大的差距,因此扫描电镜的商品化发展非常迅速,到目前为止最好的扫描电镜,已经基本接近当前一般设计的理论分辨率。由于电子探针的使命是进行X射线微区分析,而X射线作用区的空间分辨率理论上被定位在一到几个微米范围,和电子光学系统分辨率关系不大。因此电子探针技术并不追求高分辨率。就目前来说,钨灯丝电子探针的分辨率基本停留在上世纪七十年代扫描电镜的分辨率水平,就足够了。
半导体材料在X射线探测技术上的应用,导致X射线能谱仪的发明和迅速广泛使用。X射线能谱仪可以同时分析进入探测硅片的所有元素特征X射线,同时展谱,而WDS对元素逐个搜索和展谱需要漫长的时间,早期一个元素定性可能都需要几个小时,而EDS只需要几分钟即可对所有元素完美实现定性。因此EDS被广泛配置在SEM中,用于高分辨观察和微区化学定性及半定量研究,在金属材料断口分析中起到重要作用;同时EDS也被配置在电子探针当中主要用于化学定性,替代WDS漫长的搜索定性,WDS直接用EDS结果直接进行定量分析,极大提高了电子探针的分析速度。
另外电子探针的WDS定量分析,都使用标准样品。而EDS大多进行无标样分析。
---- 以上讲的可能太罗嗦,希望有点用!
最低含量为0.X%。因为我们进行测量的物质都是定量的,最低含量为0.X%。EDS 点分析是将电子束固定于样品中某一点上,进行定性或者定量的分析。每一种元素在图中会出现一种峰,由此可以看出样品中所含有的元素,同时展示了相对质量分数和相对原子分数及误差,误差越大表示元素的相对含量可信度越低。
luomuwuhen(站内联系TA)用SEM分析样品,粒径大小可以直接看出来0523gy(站内联系TA)这个问题我也想问,继续关注。。。zhoufudong(站内联系TA)最近做了一个SEM,也不会分析,求助各位大侠绿茶咖啡(站内联系TA)颗粒形状粒径大小,可以结合XRD分析负载的话,物质的分布附着情况jason168(站内联系TA)呵呵,先补一下基本知识吧,当然了,是对你要做的东西的基本知识。你连做SEM想看什么都不知道,说明你对你的样品也不是很了解,这样子写的文章肯定也不咋的了。liuruiphd(站内联系TA)可以结合能谱分析相关元素的含量njucaijun(站内联系TA)最直观的是形貌和大小,还有粒子间或所关心的体系间的关系,比如分散状况,结合状况等。结合能谱可以知道元素信息,做面扫可以知道元素的分布图,结合扫描照片能得到一些有意思的结论。欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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