SEM和电子探针使用特征的问题

SEM说俗了 就是用高速的电子打击标本 捕获打回来的电子 然后电脑分析 得到的图象就是物体表面的照片 和普通黑白照片没区别 只不过是很小很小的物体 在纳米级别上的迷你照片~

电子探针就不一样了 全名为电子探针X射线显微分析仪 又名微区X射线谱分析仪 听着听深奥 实际上就是把高速的电子打在物体上 这点和SEM一样 但是它捕获的不是电子 它要的是物体受到电子攻击产生的X线``（如果你大学物理学的好没挂科的话你应该记得一个叫做特征X线 它要的就是这个玩意） 因为这个X线含有标本的化学成分信息``所以它长用来分析物体里有什么 这样我们就知道标本里面有多少氢多少氧等等`

总结就是：都把高速的电子打到了标本上 SEM捕获了反弹回来的电子 从而知道了物体表面长什么样子 电子探针捕获了物体激发出来的X光 从而知道了物体里面有什么成分

电子探针（Electron Probe Microanalysis-EPMA）的主要功能是进行微区成分分析。它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。

其原理是：用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或能量）可知元素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。

其镜筒部分构造和SEM相同，检测部分使用X射线谱仪，用来检测X射线的特征波长（波谱仪）和特征能量（能谱仪），以此对微区进行化学成分分析。

X射线谱仪是电子探针的信号检测系统，分为：

能量分散谱仪（EDS），简称能谱仪，用来测定X射线特征能量。

波长分散谱仪（WDS），简称波谱仪，用来测定特征X射线波长。

WDS组成：波谱仪主要由分光晶体和X射线检测系统组成。

原理：根据布拉格定律，从试样中发出的特征X射线，经过一定晶面间距的晶体分光，波长不同的特征X射线将有不同的衍射角。通过连续地改变q，就可以在与X射线入射方向呈2 q的位置上测到不同波长的特征X射线信号。根据莫塞莱定律可确定被测物质所含有的元素。

为了提高接收X射线强度，分光晶体通常使用弯曲晶体。

---