请教不导电样品的SEM观察

请教不导电样品的SEM观察,第1张

嘿嘿 这位同学应该刚刚接触到这个sem吧!简单的说吧——由于sem的成像原理是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号,而若样品不导电怎或造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走,一定程度后就反复出现充电放电现象(charging)。

楼主如果基体必须是不导电玻璃,如不能喷金,可以喷碳,这可以消除荷电问题,不妨碍形貌观察。如果不能喷涂导电膜,就得升级您使用的仪器:使用具有更高的低电压性能扫描电镜,玻璃水平放置,低电压在1kv-2kv之间找到合适的消除荷电的观察条件,或者玻璃片大角度倾斜消除荷电,提高加速电压获得更好的分辨率;可以选择低真空观察模式。

可以,做SEM时,电子射入材料时是散射开的,纵向截面类似于一个葫芦形,所以它探测到的反射能谱不是最表面的材料,如果你入射能量大,甚至可以深入材料几个微米的深度。所以SEM能谱分析得出的不是最表面那几层原子,还要更深一些,是一个葫芦状微观三维区域的原子能谱。

镀金膜导电可以让表面形貌的图像更清晰,但是仪器会自动将能谱里的金峰标出,不会影响其他元素的判断。

文献里看不到金峰,可能是由于作者只取了对自己有用的那一段能谱进行说明,而没有打出全部能谱


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