sem扫描电镜是测什么的

sem扫描电镜是测什么的,第1张

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

扫描电镜能谱分析通过激发原子发射特征X射线来确定成份,只能测试材料表面,根据电压不同测试的厚度不同,且轻元素是测试不了的,不记得是Be还是B之前的元素了,反之从C开始都能测试到,准确性很差。

要确定是否镀上一层sio2,首先要确定是否有sio2,可以通过X射线衍射仪(XRD)或者扫描电子显微镜(SEM)来检测。XRD可以检测出材料的晶体结构,以及晶体中各种元素的含量,可以确定是否有sio2。SEM可以检测出表面的结构,以及表面的厚度,可以确定sio2的厚度是否达到200字以上。另外,还可以通过原子力显微镜(AFM)来检测表面的结构,以及表面的厚度,以确定是否镀上一层sio2。总之,要确定是否镀上一层sio2,可以通过XRD、SEM和AFM等技术来检测,以确定是否有sio2,以及sio2的厚度是否达到200字以上。


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