怎么用SEM看薄膜截断面

怎么用SEM看薄膜截断面,第1张

针对怎么用SEM看薄膜断面来回答:

献峰科技指出:在Si片上镀一层非晶碳膜(厚度为几十个nm,导电性能较差),用金刚石刀直接切割出试样,然后进行SEM观察,希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金,看到的断面效果也很差,很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

希 望 采 纳 不 足 可 追 问

可以有3个方法:

1,制样的时候将样品倾斜放置。

2,用倾斜样品台制样,有些SEM样品台配有30,45,60度倾斜的样品台。

3,高级的SEM,可以讲探头本身倾斜,从而获得大角度的SEM图

如果你的不锈钢可以用手掰弯的话。你可以试试对样品掰弯处理,因为氧化铝模板是脆性的,所以在掰弯的时候肯定有地方裂开,裂开往上翘的角度大的在平面SEM中就可以侧向看到断面,我用过这个方法,还算是比较有效的方法


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