扫描电镜成像时接收的电子信号主要有哪些

入射电子束射入样品表面，扩散成一个水滴状，从上至下激发出的信号有：

1、俄歇电子，深度埃米级别：能量很弱，扫描电镜探测器不能采集，有专门的俄歇电镜和俄歇能谱仪；

2、二次电子，深度亚微米到5μm级别：二次电子又分SE1和SE2，分别被电镜不同二次电子探测器接收，形成形貌像；

3、阴极荧光、连续X射线：扫描电镜探测器不能采集；

4、背散射电子：扫描电镜背散射探头采集，可形成元素成分分布像和元素成分+形貌像；

5、特征X射线：扫描电镜能谱仪接收，形成元素成分分布像和元素含量分布结果；

6、吸收电子：吸收了，没有然后；

7、透射电子：亚微米到微米级别厚度的样品可能透过样品产生透射电子，需要借助透射电镜采集，形成透射电镜像或者能谱结果。

进行元素分析的信号主要是作用区发射的元素特征X射线，俄歇电子，

阴极荧光，背散射电子等，特征能量损失电子。

SEM 常常使用：EDS，WDS 分光特征X射线； 俄歇电子需要超高真空环境，往往以俄歇电子谱仪的商品出现，也可归入扫描电镜范畴；背散射电子携带微区不同平均原子序数区域的反差信息，定性的了解原子序数高低或者材料密度分布；阴极荧光光谱范围在紫外，可见或红外波段所发射的电磁辐射，这种现象可以被用来检测矿物，半导体和生物样品中痕量元素（ppm级别，用X射线波谱WDS或者X射线能谱EDS都是不能实现的）的分布。

TEM常使用特征x射线和特征能量损失电子，

1.sem扫描电镜的原理是依据电子和物质的相互作用，扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。

2.通过对这些信息的接收、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。

3.sem是一种电子显微镜，中文名为扫描电子显微镜，通过用聚焦电子束扫描样品的表面而产生样品表面的图像。

4.它由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统和电源系统组成，应用于生物、医学、材料和化学等领域。

5.扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。

6.扫描电镜的优点是，有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调。

7.有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构。

8.试样制备简单。

9.目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。

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