电子扫描显微镜(SEM)的工作原理???

电子扫描显微镜(SEM)的工作原理???,第1张

SEM通过电子来使样本放大50万倍,相当于将1毫米放大到500米。同时,SEM也可以分析样品的组成元素。SEM产生电子束撞击样品原子的电子层,产生X射线,释放不同程度的能力,从而判断原子的种类。这项技术也被称为X射线微探技术,对于分析枪击痕迹非常有用。

入射电子束射入样品表面,扩散成一个水滴状,从上至下激发出的信号有:

1、俄歇电子,深度埃米级别:能量很弱,扫描电镜探测器不能采集,有专门的俄歇电镜和俄歇能谱仪;

2、二次电子,深度亚微米到5μm级别:二次电子又分SE1和SE2,分别被电镜不同二次电子探测器接收,形成形貌像;

3、阴极荧光、连续X射线:扫描电镜探测器不能采集;

4、背散射电子:扫描电镜背散射探头采集,可形成元素成分分布像和元素成分+形貌像;

5、特征X射线:扫描电镜能谱仪接收,形成元素成分分布像和元素含量分布结果;

6、吸收电子:吸收了,没有然后;

7、透射电子:亚微米到微米级别厚度的样品可能透过样品产生透射电子,需要借助透射电镜采集,形成透射电镜像或者能谱结果。

对日开发中ブリッジシステムエンジニア(BSE)英语是:bridgesystemengineer他是指能够和日本人直接交流,并且常驻日本,从而起到一个窗口和桥梁的作用的SE,在日本那边把程序发注到中国来开发,有问题时,可以由他直接和日本那边交流.システムエンジニア(SE)英语是:systemengineer是指有多年的CODING经验.技术很强,可以做系统的设计的人员.参考资料:自己整理


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