sem图怎么看垂直方向的信息？如图所示的平坦区域是在金字塔上面还是下面？按照各向异性刻蚀原理应该在上面

调整样品台倾斜角度！一种所谓机械对中样品台在这个调解过程中，虽然不能精确的保证样品倾斜时严格以同一个轴线来调整，但基本观察视野不会跑，不离焦！这样翻过来调过去的看，你就看清楚了！

稍微多讲点有关EM立体成像技术：

1950年代，美国科学家在实验室，第一次使用SEM弄出了立体对，那时SEM还没有商品化！在一般摄影上被称作全息照相！

现在FEI公司有这样的选购软件，可以用在SEM或TEM上。自动控制样品台按照一定角度间隔倾斜，且保证倾斜同轴，每个角度保存一幅图像，然后把N个图像合成一个立体图像，是最为精准的技术。SEM形成表面立体形貌像，TEM的立体像和CT效果相同。由于要求样品台精度极高，且运算复杂，价格贼贵！

为了简化操作，节约成本，只看个大概！最常用的立体对方法是样品角度不变，电子束以一定允许的夹角从两个方向分别扫描一张图像，一张红色伪彩，一张绿色伪彩。把两张照片叠加，形成红绿重影像！然后戴个红绿镜片眼镜，也可看到立体图像,解决你的问题！

除了立体对技术，还有就是线扫描Y增益的示波器技术！

有些扫描电镜带有示波器，扫描发生器让电子束在划定的直线上扫描，然后把信号曲线画在直线上方，因为图像信号强度是电子束与像素表面角度的函数，一般认为曲线的高低起伏代表样品的高低起伏。如果将一帧图像均做Y增益，即可用软件合成一幅立体表面形貌像。有些厂商忽悠客户说此为表面立体像，其实很不严谨，因为很多时候会有假象存在,基本上没有实用价值，很多厂商取消了这个功能！

如果没有做以上的多角度观察，那就要考验成像信号的判断。就这张图像而言，可以肯定：金字塔在基底上凸起！棱角凸起信号强度高，发亮；凹陷信号强度低，发暗！

EDAX图像是什么？

EDAX是美国一个X射线仪器制造商的品牌，为不同品牌扫描电镜，但主要为FEI 配套EDS、WDS、EBSD等微区化学成分分析，微区晶体结构分析附件。

EDS有可控制采集SEM的各种电子图像，同时可收集图像中每个像素点对应样品上的化学成分信息！

形成元素面面分布图。

测试出能谱后，对应的软件上有显示元素种类，该元素对应哪几个峰形。有时候会出现很多不知名的其他元素，这个时候要根据自己所测试物质所含元素的组成进行辨别。测试时，分为面扫和点扫，面扫对应SEM上显示的一个面中各元素含量，点扫则对应该点（实际上由于探针会飘动，所以也会收集到附近/周围点的元素情况）。收集的时间长短，决定了峰的强度大小，一般为了数据可靠，收集的时间要长一些。最后，EDX会给出以At%和wt%为单位的各元素数据，At%表示原子百分数，wt%表示质量百分数。根据wt%除以各种元素的相对原子质量，可以计算出物质的结构式。但是，EDX只是一个半定量的测试方法，结果还不够精确。想要获得更加精确的数值，可以用ICP（含金属的物质）。

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