怎么用SEM看薄膜截断面

针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答：

献峰科技指出：在Si片上镀一层非晶碳膜（厚度为几十个nm，导电性能较差），用金刚石刀直接切割出试样，然后进行SEM观察，希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金，看到的断面效果也很差，很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

希 望 采 纳 不 足 可 追 问

不同温度下晶粒生长情况不同的，一般要查看烧结后晶粒状况的话，要以烧结温度进行热处理。如果要查看晶体随温度变化的情况，您可以用不同温度对样品进行热处理，然后分别送样，这样才能体现晶体生长随温度变化的情况。不过这样做很费钱。可以考虑做差热。

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