sem扫描电镜是测什么的

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

eds扫描能谱分析。元素分布图是指特定的物质中的元素含有量及分布位置的图纸，其中国内一般选用的是eds扫描能谱分析，该方法可以实现测量存在元素的黑白色显示，使其位置显示更加均匀，并且更加明显。

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