请以钢铁材料为例，简述扫描电镜及 电子探针X射线能谱仪在材料组织形 貌观察及微区成分分析中应用

扫描电镜(scanning

electron

microscope，SEM)，可观察金相组织，断口形貌等；若SEM配备有能谱仪EDS（Energy

Dispersive

Spectrometer），也是可以做成分分析的，不过一般做定性，确定夹杂物等用的。

电子探针（Electron

probe

micro-analyzer，EPMA），可对试样进行微小区域成分分析，除H、He、Li、Be等几个较轻元素外，都可进行定性和定量分析。

X射线（x-ray

phase

analysis），钢铁材料一般用来做相分析用的，即确定组织中用哪些相组成，一般为铁素体，奥氏体相等。

看你应该是从事金属材料专业的吧，希望对你有用，还有问题可以问我，我是做钢铁产品研发的

SEM是扫描电子显微镜，最高可放大至20万倍左右，用二次电子成像的原理来观察某种物质的微观形貌。EDS是能谱仪，是每种元素对应的电子能不同，来鉴别元素，通常是和SEM结合使用，也就是说在SEM上安装EDS附件，在观看形貌时，选择一定区域用EDS打能谱，也就知道了该区域的元素组成。XRD是X射线衍射仪，其原理是高压下，阴极发出的电子形成高能电子束，轰击阳极靶材（通常是Cu），靶材的内部电子能量升高，被激发出来，当它回到基态的过程中，多余的能量以X射线、俄歇电子等形式释放出来。XRD收集的是其中的X射线，X射线扫到样品上，会根据布拉格方程产生衍射角，衍射峰。每种物质(不同样品)的衍射峰不同，因此通常用来鉴别物相，也会根据峰面积算半定量。

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