什么是扫描电子显微镜

【扫描电子显微镜】简称“`SEM`”。一种超高分辨的具表面测试技术的分析仪器。可用于微粒、金属薄片等表面性质的研究。主要是利用电子束在样品表面上逐点扫描，通过电子束与样品相互作用，从样品上激发出与样品性质有关的各种信息（如二次电子、背射电子、`X`射线等），通过分别收集这些从样品上激发出的信息，经电子线路放大处理后输入以阴极射线管的栅极，控制其电子束的强弱，也即控制阴极射线管的亮度来显示样品的图象。可进行各种图象观察、元素分析及品体结构分析，可

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

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