关于SEM扫描电镜的几个问题,求大神出现...

关于SEM扫描电镜的几个问题,求大神出现...,第1张

如果是即将开始学习仪器操作的管理人员,建议先系统学习理论知识,再找专业的仪器工程师培训。如果是学生,要使用电镜,从安全角度考虑,1、2、3几项通常是值机人员完成的。我可以简单的向你介绍一下:1、主要是电源,只要能正常开机,一般无问题;2、加高压前一般要达到额定真空,否则气体电离度大、损伤电子枪,但是电镜软件一般都已经设置好,不到工作真空,根本加不上去高压,所以只要能够加高压,也无其他特别的问题;做完电镜关闭高压,等30秒以上,待灯丝冷却后再放气为宜,主要也是为了保护电子枪;3、样品台有它的额定移动距离,包括平面方向和上下方向,平面方向移动到极限时会有报警提示,看到提示往回移动即可。高度方向也如此,但是要注意向上移动时,要缓慢,要防止坚硬的试样撞击上方的探测器和极靴,损坏设备;4,电子束与试样作用,可激发出多种信号,如二次电子信号(用于形貌观察),背散射电子信号(用于区分微区成分)、俄歇电子信号(用于表面元素分析)、特征X射线(用于内部元素分析)、阴极荧光(用于发光材料研究),这些信号已经被有效的加以利用,这是一门独立的学科,若需要详细了解,你需要系统地学习一下。

可能你还没有机会接触更深,也就是说还没有机会上手操作,否则一定需要培训,简单培训过后,这些都必须知道,否则连开关机都不会。

虽然不同型号标识会略有不同,但通过意思还能判断的:

Power--电镜主机的电源开关

Air-- 基本是指泄真空,往真空室放气,这样才可以打开样品仓,或者电子枪室等。

扫描电镜是高真空系统,一般是由两级或者三级真空泵串联组成,通过真空阀门和真空测量器件共同进行自动逻辑控制。

START UP -- 开始抽真空 :第一次开机,更换样品后都需要重新抽真空,现在一般都是在软件中控制。软件中本身有指示灯,过去都在主机上用LED灯显示。只要保持抽真空状态,这个等一直亮。按AIR按钮后,真空泵停止运转,这个灯会灭。

SHUT DON-- 关机,不泄漏真空,但真空泵停止运转,可以关闭总电源,保持电镜真空腔体处于真空状态。

R.P,Ratary Pump 缩写,是前级泵,叫做旋片式机械真空泵,最高这空度0.1Pa,一般需要将真空室从大气压抽到10pa 以下。一般扫描电镜抽真空时间设计在3分钟以内。

M.P ,Molecular Pump缩写,是二级泵,叫做分子泵,必须在气体的分子流下工作,启动真空度在10pa 以下。

也不知道你接触的设备是哪个年代的,当前新设备基本都不用真空表,直接是数字显示实际真空度。

总之都是一个意思,估计你的设备比较老。

真空表0-10之间,0代表大气,10代表高真空,高压电源允许打开的真空度(高压电源是有真空保护装置的,真空达不到,好的电镜都会自动锁住高压电源开关,万一真空泄露,也会自动关闭高压电源)。

刚开机的时候,是因为真空室内的腔体处于一定真空状态,不是从大气开始抽的,表指示的是初始真空度,如果打开样品室,更换样品后再重新抽真空,就是从0开始了。


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