![SEM背散射电子下,原子系数越大是越亮还是越暗,二次电子下是不是相反的。,第1张 SEM背散射电子下,原子系数越大是越亮还是越暗,二次电子下是不是相反的。,第1张](/aiimage/SEM%E8%83%8C%E6%95%A3%E5%B0%84%E7%94%B5%E5%AD%90%E4%B8%8B%EF%BC%8C%E5%8E%9F%E5%AD%90%E7%B3%BB%E6%95%B0%E8%B6%8A%E5%A4%A7%E6%98%AF%E8%B6%8A%E4%BA%AE%E8%BF%98%E6%98%AF%E8%B6%8A%E6%9A%97%EF%BC%8C%E4%BA%8C%E6%AC%A1%E7%94%B5%E5%AD%90%E4%B8%8B%E6%98%AF%E4%B8%8D%E6%98%AF%E7%9B%B8%E5%8F%8D%E7%9A%84%E3%80%82.png)
背散射
电子是发射电子被
样品弹性碰撞弹回来的,所以
原子序数大的原子越大,弹性碰撞的概率越大,所以原子序数大的背散射电子强度的大;二次电子是从样品表面发射的电子,跟原子序数没关系,跟样品的表面形态有关,因为撞击角度90度是二次电子基本么有,倾斜装机的二次电子产率就很高了,所以二次电子像是跟样品观察角度有关的。1.倾斜角效影响图像因素由于二次电子的发射是入射电子碰撞样品的海外电子,使原子外层受激发而电离出来的电子, 且电子在逸出样品表面之前又和样品进行多次散射,所以只要在样品浅层几纳米到几十纳米组偶偶深度区域产生的二次电子才能逸出表面,被探测器收集到。因此电子束的入射角将影响二次电子图像的反差。2.边缘效应在样品边缘和较短部位摄入一次电子时。由于尖端和边缘的二次电子容易脱离样品,所以产生二次电子数量多,图像异常明亮,称为边缘效应。边缘效应造成反差不自然,降低图像质量。若降低加速电压,减少二次电子的发生量,或减少对比度。就可以使边缘效应相对减轻。3.原子序数效应原子序数高的元素被激发的二次电子多,原子叙述地的元素则少。因此,在同等条件下,前者图像明亮,这种现象成为原子序数效应。原子序数效应与被散射电子在样品中的激发作用有关。在观察生物样品时,在样品表面均匀喷镀一层原子叙述高的金属膜,可提高图像质量。4.充放电效应生物样品大多数是高绝缘性的,入射电子不能在样品中构成回路倒入大地,堆积在样品上的入射电子形成负电荷区,产生放电现象或排斥后续入射电子,使其被检测器吸收或者轰击样品室其他部件,严重应先二次电子图像质量,如采用镀膜,导电胶黏贴样品等导电处理,可减少充放电效应的影响。5.焦点深度所谓的焦深是指对高低不平试样各部分聚焦的最大限度的能力。它是扫描电镜中一个重要的和可控的性能指标,是影响整幅图像各部位清晰度的一个重要因素。随着图像的放大倍数增加,其焦深受束斑尺寸的影响越来越显著。在高倍放大时,要得到较大的焦深,就要选择大孔颈的物镜光阑,或者缩小工作距离进行观察。二次电子信号来自于样品表面层5~l0nm,电子与样品原子的核外电子作用,一部分能量转移到原子,导致原子中的一个电子被逐出而产生二次电子。二次电子信号强弱与样品表面粗糙度有关,可利用二次电子成像的模式-SEI模式观察样品表面形貌。 电子与样品原子的原子核发生弹性碰撞,电子方向发生改变,但无能量损失,这样的电子叫背散射电子。背散射电子信号强弱与样品原子的原子量有关,可利用背散射电子成像的模式-BSE模式观察样品表面元素分布情况。
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