镀导电膜对于sem有效分析不导电样品有不可缺少
但是导电膜也有可能由于本身的特点造成图像的扭曲甚至假象
一般导电膜无外乎三种材料:Au,Pt,C
专家建议,需要高分辨的情况下,尽量使用Pt或者Pt-Pd合金膜
因为它对图像的扭曲最小。
采用低真空模式或环境扫描模式(这两种模式一般都是要通入水蒸气,保持低真空度)。只不过清晰度会差一些,放大倍率倒是不会降低太多,一般1万或3万左右的放大倍数都没问题,主要是与喷金比较,会有些模糊,另外样品非常容易被电子束打的变形,留下烙印。欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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