怎么用SEM看薄膜截断面

针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答：

献峰科技指出：在Si片上镀一层非晶碳膜（厚度为几十个nm，导电性能较差），用金刚石刀直接切割出试样，然后进行SEM观察，希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金，看到的断面效果也很差，很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

希 望 采 纳 不 足 可 追 问

光学显微镜就可以测了，何必这么费事用SEM。你需要测芯直径或者剖面折射率可以用S18，模场直径，包层直径，芯层直径，不圆度等都有专门的仪器可以测量。用SEM只能测量包层直径。光纤光缆等相关的，我们一般使用菲尼特的。

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