(1)真空泵温太高,1.被抽气体温度过高。应让气体冷却后再进入真空泵内,2.吸入硬物使真空泵体磨损。应拆开真空泵除去硬物,对划伤部件进行修复或更换,3.真空泵冷却水流最不够。应加大冷却水流量,4.装配不当,使转子轴心位移,造成单面磨损。应拆开检查并重新装配。
(2)弹簧变形或断裂,使旋片受力不均匀而发出冲击声;应更换弹簧;
(3)装配不当,造成单面磨损,应重新装配;
(4)过滤网损坏,金属屑、玻璃屑等落入真空泵内,使运转发生障碍。应拆真空泵检查、清除碎屑,修复或更换磨损部件,并装好过滤网,
(5)真空泵腔内污染严重,导致零件锈蚀。应拆真空泵请洗,去除锈斑,并换油,
(6)真空泵油变成乳浊状.粘度增大。应更换新的真空泵油,
(7)真空泵腔、轴和轴套配合过紧,紧成润滑不良。应重新装配并疏通和调节油路,加强润滑,
(8)电机有故障而产生噪声。应检修电机或给轴承加上润滑油。
基本上是旋片泵+罗茨泵组合的极限真空了,状况比较好的话,可以达到0.5pa,但是大部分都是在1~10pa左右。反复变化的原因可能是旋片泵与罗茨泵配合问题,当真空达到一定程度后,旋片泵达到极限,少量气体回流导致浮动。也有可能是真空计质量不好,假象。
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