EDX 点扫，面扫和mapping这三者之间有什么差别

EDX 点扫,面扫和mapping这三者之间有什么差别？

就定量来说，SEM点分析比线分析和面分析更准确，扫描的方式不同，线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况（线分析是沿着某个界面的元素分布起伏，而面分析是看整个视场的元素分布情况），点分析可以基本定量分析元素。

最低含量为0.X%。

因为我们进行测量的物质都是定量的，最低含量为0.X%。EDS 点分析是将电子束固定于样品中某一点上，进行定性或者定量的分析。每一种元素在图中会出现一种峰，由此可以看出样品中所含有的元素，同时展示了相对质量分数和相对原子分数及误差，误差越大表示元素的相对含量可信度越低。

微晶玻璃的SEM，一般要看析晶区域和晶粒的形状、大小及分布区域性等微观形貌特征，对于感兴趣的晶粒，可以采用EDS点扫描来分析其元素组成，确切的相组成还要结合XRD分析或者TEM的选区电子衍射分析。

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