光刻机是不是就是我们平时电脑上用的光盘刻录机呀，刻CD用的？

当然不是，现在常说的光刻机主要用在芯片制造，这个名字只是俗称，学名是掩膜曝光机，原理类似照片冲洗，把掩膜上的电路图形通过光线曝光印制在硅片上，形成微电路。

光刻机的生产集合了全世界最尖端的黑科技，其中很大一部分技术我国跟世界前列的国家或企业是存在代差的，这个代差甚至在10年以上，所以跟光盘刻录机不是一个类型的东西。

光刻机巨头ASML称东方晶源可能侵权，这到底是怎么回事？下面就我们来针对这个问题进行一番探讨，希望这些内容能够帮到有需要的朋友们。

光刻机，作为处理芯片的关键生产设备，一直承重着必不可少的主要功效，而怎样摆脱外国垄断性，生产制造出彻底独立且有着专利权的光刻机及处理芯片，就变成了中国科技企业的总体目标。在“弯道超越”的途径上，也会没法规避的产生“专业知识行业时光交叠”的状况，终究在生产制造上，一切物件不太可能确保100%的原创设计，就连最主要的设备在功用上总会有互通点。

在光刻机大佬ASML阿斯麦的2021年财补报称，华企东方晶源已经市场销售很有可能侵害阿斯麦专利权的商品。这一举动造成网民的疑惑，请律师打官司呗，有一种把技术性都技术交底，看一下是不是侵权行为。

ASML阿斯麦在全世界供应链管理占有的影响力至关重要，针对全球来讲，ASML在光刻机及处理芯片行业一直是垄断性影响力，也是现阶段7nm及下列优秀制造必不可少的生产设备，只是交货55台光刻机就能完成销售总额46%的提高，而作为现阶段优秀制造市场竞争下，EUV的价格及销量一直不断提高，倘若有两部高档光刻机进到在我国，必定会更改中国现况（一台生产制造，一台拆卸科学研究）。就算是取决于ASML竭力抵制出入口限令，但仍更改不上没法向在我国出入口的现况。

而在这篇中的东方晶源，在应对ASML的“侵权行为举报”解决中，依然更改不上诸多人的眼光。ASML早已告知了许多顾客，要她们中止与其说的协作及业务流程来往：大家已经密切关注这一状况，并打算在恰当的情况下采用法律法规行动。就连外国媒体都没有忽略这一次机遇，在报道中阴阳怪气的控告华企“盗取国外企业的商业机密”，还主要的强调注重“尤其是美国”。

而且，ASML还表明，东方晶源与XTAL公司有关。XTAL此前在2019年因窃取商业秘密案获赔向ASML付款2.23亿美金，而XTAL在宣判起效的1个月后宣布破产。而东方晶圆在以后为什么会尽收眼底，在ASML来看，二者是有立即关联的，且在2021年7月6日，东方晶源在量子检测得到重大进展，第一台CD-SEM公布出机并得到中芯的订单信息，而后东方晶源就变成了ASML的立即竞争对手。

与东方晶源同样的是，XTAL也是由于创立一年后就占领了三星电子以内的好几家ASML的大顾客遭受“封禁”，尽管东方晶源仅建立于2014年，但在短期内得到变质，在ASML来看，这和XTAL是有联络的。现阶段，东方晶源仅回应称“彻底自研”，但针对实际关键点未做论述。

尽管ASML一而再再而三说抵制出入口限令，但这段时间或一直以来，针对华企的打击却不容易终止，这一点可以参考中微公司。ASML本次再度将大棒瞄向华企，用意是比较突出的。

光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机的种类可分为：接触式曝光、接近式曝光、投影式曝光。

光刻机的工作原理是通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上。然后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图。

一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。光刻机的制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，因此，世界上只有少数厂家掌握。

光刻机的品牌众多，根据采用不同技术路线的可以归纳成如下几类：高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常七纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界上已有1.2亿美金一台的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰ASML，日本Nikon和日本Canon三大品牌为主。

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