EDS, an HP company 是全球信息服务业领导者之一,以协助全球客户提高企业的运营绩效。另有EDS (能谱,Energy Dispersive Spectrometer),EDS电气设计软件包
我认为不可行。材料的腐蚀机理多种多样,有可能是畸变、位错、结构的不均匀性、夹杂等因素导致形成局部腐蚀微电池,你怎么区分腐蚀区域是什么原因造成的,生成的化合物是什么,是几价?每种原因速率肯定不一样,生成的元素含量都会有差别。而且初始厚度是多少怎样确定?加工都会有误差。既然要用到SEM这类仪器,不做到微观层次的分析意义就不大了你当然可以这么做,只是误差比较大。实际一般情况我们只需要知道相对量就好了,并不需要这么精确的数值。
如果确实需要精确数值,那需要标定,毕竟不同元素的响应值区别还是很大的。
实际上,你的ZSM-5的硅铝比就能验证,SEM数值跟化学法数值差距还是很大的;但这并不妨碍很多人直接用SEM数据表征他们样品的硅铝比
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