因为我们进行测量的物质都是定量的,最低含量为0.X%。EDS 点分析是将电子束固定于样品中某一点上,进行定性或者定量的分析。每一种元素在图中会出现一种峰,由此可以看出样品中所含有的元素,同时展示了相对质量分数和相对原子分数及误差,误差越大表示元素的相对含量可信度越低。
SEM,全称为扫描电子显微镜,又称扫描电镜,英文名Scanning Electronic Microscopy. TEM,全称为透射电子显微镜,又称透射电镜,英文名Transmission Electron Microscope.
区别:
SEM的样品中被激发出来的二次电子和背散射电子被收集而成像. TEM可以表征样品的质厚衬度,也可以表征样品的内部晶格结构。TEM的分辨率比SEM要高一些。
SEM样品要求不算严苛,而TEM样品观察的部分必须减薄到100nm厚度以下,一般做成直径3mm的片,然后去做离子减薄,或双喷(或者有厚度为20~40μm或者更少的薄区要求)。
TEM可以标定晶格常数,从而确定物相结构;SEM主要可以标定某一处的元素含量,但无法准确测定结构。
扫描电镜能谱分析通过激发原子发射特征X射线来确定成份,只能测试材料表面,根据电压不同测试的厚度不同,且轻元素是测试不了的,不记得是Be还是B之前的元素了,反之从C开始都能测试到,准确性很差。欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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