扫描电镜和透射电镜区分元素分析仪器,用的分别是什么信号?

进行元素分析的信号主要是作用区发射的元素特征X射线，俄歇电子，

阴极荧光，背散射电子等，特征能量损失电子。

SEM 常常使用：EDS，WDS 分光特征X射线； 俄歇电子需要超高真空环境，往往以俄歇电子谱仪的商品出现，也可归入扫描电镜范畴；背散射电子携带微区不同平均原子序数区域的反差信息，定性的了解原子序数高低或者材料密度分布；阴极荧光光谱范围在紫外，可见或红外波段所发射的电磁辐射，这种现象可以被用来检测矿物，半导体和生物样品中痕量元素（ppm级别，用X射线波谱WDS或者X射线能谱EDS都是不能实现的）的分布。

TEM常使用特征x射线和特征能量损失电子，

扫描电镜能谱分析通过激发原子发射特征X射线来确定成份，只能测试材料表面，根据电压不同测试的厚度不同，且轻元素是测试不了的，不记得是Be还是B之前的元素了，反之从C开始都能测试到，准确性很差。

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