SEMEDX在测表面元素的时候测得多深？拜托了各位 谢谢

二次电子扫描象的分辨本领最高，约等于入射电子束直径，一般为6-10nm深，主要用于测试表面形貌；背散射电子为50-200 nm深，可以测表面形貌，也可以得到表面成分衬度；吸收电子和X射线为100-1000nm深，这些信号主要用来得到表面元素。 查看原帖>>

1、二次电子探测器：材料元素原子序数越大，激发出的信号越少，信号强度越低，表现出电镜图像越暗

2、背散射电子探测器：材料元素原子序数越大，激发出的信号强度越高，表现出电镜图像越亮

3、能谱仪：材料不同元素激发出特征X射线，收集时间越长，累积的强度越大

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