EDX,全称Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy,能量色散X射线光谱仪,EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的;
根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。
通常EDX结合电子显微镜使用,可以对样品进行微区成分分析。
扩展资料:在包含某种元素1的样品中,照射一次X射线,就会产生元素1的荧光X射线,不过这个时候的荧光X射线的强度会随着样品中元素1的含量的变化而改变。
元素1的含量多,荧光X射线的强度就会变强,注意到这一点,如果预先知道已知浓度样品的荧光X射线强度,就可以推算出样品中元素1的含量。
采用定量分析的时候,可以在样品中加入高纯度的二氧化硅,作为参比样,并且掺量是已知的。这样可以间接知道其他组分的含量。
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