扫描电镜和透射电镜区分元素分析仪器,用的分别是什么信号?

进行元素分析的信号主要是作用区发射的元素特征X射线，俄歇电子，

阴极荧光，背散射电子等，特征能量损失电子。

SEM 常常使用：EDS，WDS 分光特征X射线； 俄歇电子需要超高真空环境，往往以俄歇电子谱仪的商品出现，也可归入扫描电镜范畴；背散射电子携带微区不同平均原子序数区域的反差信息，定性的了解原子序数高低或者材料密度分布；阴极荧光光谱范围在紫外，可见或红外波段所发射的电磁辐射，这种现象可以被用来检测矿物，半导体和生物样品中痕量元素（ppm级别，用X射线波谱WDS或者X射线能谱EDS都是不能实现的）的分布。

TEM常使用特征x射线和特征能量损失电子，

XRD可以做定性，定量分析。即可以分析合金里面的相成分和含量,可以测定晶格参数,可以测定结构方向、含量，可以测定材料的内应力，材料晶体的大小等等。一般主要是用来分析合金里面的相成分和含量。

样品制备：

通常定量分析的样品细度应在1微米左右，即应过320目筛。

SEM是利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。

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