如何检测薄膜是否有析出物

您好，检测薄膜是否有析出物的方法有多种，其中最常用的方法是通过X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）来检测。XRD可以检测薄膜中的晶体结构，从而判断是否有析出物。SEM可以检测薄膜的表面形貌，从而判断是否有析出物。此外，还可以使用拉曼光谱（Raman spectroscopy）和热重分析（TGA）来检测薄膜中的析出物。

XRD、SEM和AFM测试没有固定的先后顺序。XRD通常薄膜厚度不够的话，需要剥离研磨制成粉末样品。SEM和AFM根据样品的特性选择一个测试就可以。测试时通常是选择同批次，同条件的几个样品分别去测形貌和组分。按照预约测试时间来安排测试顺序。选购原子力显微镜推荐Park NX-Hivac。

NX-Hivac的优点如下：

1、NX-Hivac 真空自动控制

Hivac 管理器通过一键单击在逻辑和视觉上控制最佳真空条件抽气和排气过程来实现高真空。各个过程通过颜色和图示变化得到直观监控，一键单击后您即可无需操心真空操作顺序。更快速、更简便的真空控制软件使原子力显微镜的使用更便捷更高效。

2、高级自动化特点

NX-Hivac具有大量功能从而能够最大化减少用户输入。换言之，您可以更快速地扫描，提高实验室产量。

3、配备电控载物台的StepScan 自动化扫描

StepScan允许用户能够对器件进行编程从实现而快速便捷地多区域成像。NX-Hivac让您只需五步即可完成样本扫描：扫描、提升悬臂、移动电动平台至用户定义坐标区域、进针及重复扫描。如此可极大地提高生产率，最大化减少用户输入。

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扫描电镜的试样制备是一个非常重要的老问题,特别是场发射扫描电镜观察过程中的非导电试样的制备方法,制备方法不正确就会出现一些假象.本文主要讨论了与SEM图像质量相关的因素,例如加速电压、镀膜厚度、试样尺寸及固定方法等,举例说明了选择最佳条件在无机非金属材料研究中的应用.镀膜是解决非导电试样荷电现象的主要方法,也可以提高图像质量,但往往产生假象,对场发射扫描电镜试样要特别注意镀膜材料和镀膜厚度.镀膜材料要根据试样材料和放大倍率选择,在一万倍以下观察图像时,可以蒸镀金膜,用场发射SEM观察高倍图像时,应蒸镀厚几nm的难熔金属Pt或者Pt-Pd合金.

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