2020-02-18小刘科研笔记之氩离子精密抛光(可用于电镜制样)

2020-02-18小刘科研笔记之氩离子精密抛光(可用于电镜制样),第1张

离子精密抛光刻蚀镀膜仪是一款集抛光与镀膜于一身的桌面型制样设备。对于同一个样品,可在同一真空环境下完成抛光及镀膜。通过利用两个宽束氩离子源对样品表面进行抛光,去除损伤层,从而得到高质量的样品,用于SEM、光镜、扫描探针显微镜、EDS、EBSD、CL、EBIC或其他分析。

如图所示,氩离子精密抛光刻蚀镀膜仪配备的三种样品台,其中a、b为平面样品台,可用于样品的镀膜及平面抛光;c为截面样品台,用于截面样品的抛光。

氩离子精密抛光刻蚀镀膜仪同时配备金和铂两个靶材,可根据实际镀膜需求选择合适的靶材进行镀膜或改善扫描电镜样品导电性。

氩离子精密抛光刻蚀镀膜仪同时配备了平面和截面样品抛光用的样品台,以满足不同样品的抛光需求。通过选择合适的离子束能量、离子枪角度、离子枪工作模式、样品台转速及时间控制氩离子的作用强度、深度及角度,实现样品表层损伤层的去除。其中,平面样品可根据待抛光样的高度选择a或b平面样品台;截面样品抛光则选择截面样品台c,同时配合配合挡板的使用,可有效遮蔽下半部分离子束,实现对非目标区域保护并对目标区域损伤层去除的目的。

功能: 具备平面大面积离子抛光、横截面离子抛光及高精度离子束镀膜,全面解决高端场发射电镜所有制样需求

离子枪: 两只潘宁式离子枪,装载微小磁铁,聚焦离子束设计,无消耗;

离子枪角度 :0°到 + 18°,每只离子枪可独立调节;

离子枪束能量: 0.1keV~8keV, 可在不同电压下自动优化离子束束流;

抛光区域面积 :平面抛光区域直径≥10mm,横截面≥2mm×2mm;

最大样品尺寸 :直径32mm×高15mm

样品更换 :专利Whisperlok设计,样品更换时间<1min,无需破样品室真空;

冷台部分 :带有液氮冷台,以及精确控温系统,一次加注液氮续航能力6-8小时;

控制部分 :10英寸触摸屏控制,菜单化操作,并支持研磨抛光程序的设定和储存;

耙材装置 :同时安装两种靶材,在不破真空的情况下,可自由选择不同靶材进行镀膜,可配备常见所有种类金属靶材、碳靶材甚至氧化物靶材;

离子抛光 结束后可直接在真空中进行镀膜处理,无需破真空再进行镀膜,可防止样品氧化,一站式解决高端电镜制样需求;

无油真空系统 :无油机械泵+分子泵系统。

薄膜样品由于其厚度薄,常规抛光手段很难实现对其截面的抛光制样,如图2 所示厚度仅90μm PET表层镀金样品,其截面抛光前粗糙,无法分辨基底及镀膜层,利用氩离子抛光后,其表面光滑平整,对红框处放大后可清晰观察到表层金膜。

图3所示为涂层样品抛光前后对比图,从图中可以看到,抛光前,涂层边界处破损严重,涂层与基底处表层覆盖较厚损伤层,对其进行氩离子抛光后,完整的涂层区清晰可见,且对红框处放大可观察到涂层及基底区明显的晶粒分布。

1.与FIB相比,氩离子制样面积更大,制样速率更高;

2.氩离子质量较镓离子更轻,产生的应力层,非晶层更薄,可避免由于制样方法对实验数据产生的误导;

3.氩离子抛光产生的晶格畸变小,可提高EBSD标定率,降低标定参数,提高标定效率;

4.对于易发热的样品,可以通过液氮实时控制样品室温度,避免发热对实验数据的影响,同时提高EBSD标定率。

不积珪步,无以至千里;不积细流,无以成江海。做好每一份工作,都需要坚持不懈的学习。

美国伊诺斯手持XRF合金分析仪对轻元素(Mg/Al/Si/P/S等)检测非常准确,而且操作非常方便.

产品名科: 合金分析仪 产品型号: Omega-3000+SDD

详细资料

Innov-X Omega-3000+SDD合金分析仪技术性能

1、更高的检测精度。304中NI的精度提高了2~4倍.

2、真正实现现场,快速,无损,准确的检测,直接显示合金牌号,元素,百分比含量。

3、超大的功率。40KV,100MA高达4W的大功率X射线管技术使仪器具有更低检测下限。

4、智能光束可Ti,V精度可达0.02%,能很好的区分304与321,P91与9铬,7级钛与纯钛。

5、更低的探测器温度。-35℃的超低温工作状态,使仪器具有卓越的解析度。

6、更高的检测精度,多次测试的平均值统计功能可有效地提高仪器的检测精度。

7、不规则或者很小样品的智能探测,象头发丝(0.06MM)这样细的丝也能立即测试辨认。

8、自动停止功能,窗口前无被测物是,启动仪器会在5秒后自动停止测试。

9、可鉴定数千个合金牌号,可同时检测的牌号高达556种,用户可自行定义300种合金牌号。

10、可延伸的探头对管道内壁,焊缝,小型部件等平常难以接触的位置进行检测。

11、无需借助电脑,可在现场随意指定,查看,放大相关元素的光谱图。

12、无需借助电脑,可在现场添加,编辑,删除合金牌号。

13、仪器采用铝合金具有更强的散热能力、抗震动能力、自动防幅射保险装置。

14、一键式按钮设计(用户在测试过程中无需一直压住按钮)。

15、可选择的微型打印机可让你时时打印数据。

Innov-X Omega-3000+SDD合金分析仪检测元素及识别合金牌号种类

Ø Innov-X 便携式XRF 合金分析仪,可分析从从镁 (Mg)到钚 (Pu)之间的所有83种元素,本机标配25种标准元素。

Ø 钛Ti, 钒V, 铬Cr, 锰Mn, 铁Fe, 钴Co, 镍Ni, 铜Cu, 锌Zn, 硒Se, 锆Zr, 铌Nb, 钼Mo, 铪Hf, 钨W, 钽Ta, 铼Re, 铅Pb, 银Ag, 锡Sn, 铋Bi, 锑Sb,金Au,铂Pt,钯Pd

Ø Innov-X 便携式XRF 合金分析仪可分析的合金搞达2000多种,可识别的合金牌号556种,同事用户可自定义合金牌号300种。

Ø 铁合金系列:不锈钢、铬/钼合金钢、低合金钢、工具刚

Ø 镍基合金系列:镍合金、镍/钴超合金

Ø 铝合金:部分铝合金

Ø 钛基合金系列

Ø 铜基系列:青铜、黄铜、铜镍合金

Ø 钴基合金系列

Ø 高温合金:钼钨合金

Ø 混杂合金系列

Innov-X Omega-3000+SDD合金分析仪用途及应用领域

用于现场,无损,快速,准确分析检测合金元素和合金牌号的识别。

合金材料鉴别(PMI)

来料检验;库存材料管理;安装材料复检

由于在石化建设,金属冶炼,压力容器,电力电站,石油化工,精细化工,制药,航空航天等行业中,混料或使用不合格的材料会产生严重的安全事故。

Innov-X 便携式XRF 合金分析仪用以确保生产设备与管道中所使用的合金零部件与设计要求的规格完全一致。

Innov-X 便携式XRF 合金分析仪携带方便,使用简单,分析速度快,精度高,其结果直接显示合金牌号、金属成分的百分比含量,从而使Innov-X 便携式XRF 合金分析仪成为合金材料鉴别的全世界第一供应商。

金属废料回收

废旧金属的回收、再利用需要Innov-X 便携式XRF 合金分析仪,确保对大量繁杂多样的合金种类及材料品质,进行现场快速准确的分析检测。为购销双方在原材料交易时作出迅速、可靠的判定,并提供必要的信息。

质量保证与质量控制(QA/QC)

在金属制造行业中,材料、半成品、成品的质量保证与质量控制(QA/QC)是必不可少的,混料或使用不合格材料必给企业带来损失。Innov-X 便携式XRF 合金分析仪被广泛用于从小型金属材料加工厂到大型的飞机制造商的各种制造业。已成为质量体系中材料确认、半成品检验、成品复检的首选仪器。

Innov-X Omega-3000+SDD合金分析仪用途及技术规格

项目

Innov-X Omega-3000+SDD

重量

基本上重量:1.4kg 上电池后:1.6kg

尺寸

300mm x 90mm x 220mm

激发源

射线管靶材5种可选择 金(Au)、银(Ag)、钨(W)、钽(Ta),钯(Pb)

电压电流与功率

大功率微型X射线管40 KV、100MA、4W

滤波器

六种可选择的滤波器根据不同的实物自动调节

探测器

超高性能高分辨率Si-Pin X射线探测器

探测器制冷温度

Peltier效应半导体制冷,制冷温度-35℃

解析度

<180

电源

8小时/2块锂电源及交流电源

处理器

Intel 400MHz StrongArm处理器

操作系统

移动Windows Ce系统

兼容性

蓝牙,GPS,打印

软件标准模式

alloy

数据分析

多种分析模式,包括基本参数,Compton归一化,经验校准模式,光谱配色

数据显示

集中于ppm与百分比(%)显示,光谱或峰强度(计数率)或用户定的单位

数据传输

RS232串行电缆,蓝牙,文件TXT,EXCEL格格输出。

显示屏

彩色,高分辨率TFT工业级触摸屏

Innov-X Omega-3000+SDD合金分析仪实测数据报告

(说明:以下数据为某电力试验研究所现 标样 实测数据)

304实际样品测试值对比

Reading

Mode

Cr

Mn

Fe

Ni

标准值

Analytical

18.56

1.53

71.24

8.09

实测值

Analytical

18.66

1.57

71.16

7.91

实测值

Analytical

18.61

1.58

71.02

8

实测值

Analytical

18.62

1.52

71.18

7.98

实测值

Analytical

18.68

1.57

71.12

7.91

实测值

Analytical

18.67

1.5

71.03

7.99

实测值

Analytical

18.62

1.55

71.22

7.93

实测值

Analytical

18.5

1.57

71.2

7.96

实测值

Analytical

18.7

1.53

71.14

7.99

实测值

Analytical

18.63

1.52

71.31

7.82

实测值

Analytical

18.65

1.51

71.23

,

7.95

* Ni的重复误差为0.05,这是很小的!

Innov-X部分荣誉客户

用户名称

使用地点

测试重点

数量(台)

联合国武器核查领导小组

伊拉克、伊朗

识别材料

16

中国宝钢集团

美国

识别材料

23

蒲项不锈钢

上海

不锈钢

4

华北制药厂

河北

识别材料

2

中国烟草集团公司

北京

识别材料

54

浙江再生回收

浙江

废料

8

中国石化

中国

识别材料

16

郑州质检局

上海

识别材料

1

东方锅炉

四川

识别材料

8

井上金属株式会社

上海

不锈钢

14

东方电器

四川

识别材料

3

大亚湾核电站

广东

识别材料

6

Innov-X售后服务

美国伊诺斯公司于2006年与深圳市泛洋力创科技有限公司合作,在深圳成立了Innov-X中国销售服务中心。负责整个中国市场的销售与技术服务。为中国地区的客户提供仪器安装、软件调试、使用培训、仪器校验、硬件维修与维护等售后服务。全程追踪式售服管理体系让你没有后顾之忧。

1.质量保证:

泛洋力创科技有限公司保证向客户提供,美国Innov-X公司原装进口仪器,使用最上等的材料和头等工艺制成,全新,进口,未曾使用,并完全符合本合同规定的质量。货品质量保证期为十二个月,从货物(调试)最终验收日起算。请客户认清“(Innov-X System)商标,防止目前中国区市场假冒伪劣产品。

为保护客户利益Innov-X中国服务中心开通中国区免费电话:400-7160-186,核实仪器原厂编码。

2.技术培圳:

如何使用正确的XRF方法进行合金及牌号检测。

Innov-X Omega-3000+SDD的操作方法。

Innov-X Omega-3000+SDD的维护指南。

3.售后服务:

美国(Innov-X System)公司为其全球范围内的伊诺斯产品提供售后服务。中国区域内的伊诺斯用户由深圳市泛洋力创科技有限公司 Innov中国服务中心负责产品的终身维护。美国伊诺斯(Innov-X System)公司为其全球范围内的伊诺斯产品主机提供壹年的保修期,为X射线管(X-tube),探测器(Dector)提供2000小时或壹年的保修期,为PDA提供壹年的保修期。附件锂电池,电源供应器,充电器, 数据传输座不在保修范围内。

伊诺斯中国总代理,电话0755-88823977-8028,王先生

不可以。喷金仪是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜,剪了管子会影响成像效果,不可以剪。喷金仪(MSP-30T)采用的喷金靶材为Pt金属,一次可同时喷金20个样品,年费用为8万元。


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