SEM制样时样品为什么要干燥

1、高真空环境是分子流，湿的样品不断释放水蒸气，使高真空情况下，真空度很难上升，往往达不到比较优越的条件。

2、水蒸气和2000多度高温的钨丝反应，会加速电子枪灯丝挥发，极大降低灯丝寿命。

3、对电子束的散射，会造成信号损失

4、污染样品

有的时候新扩散泵油需要多用几次真空度才会有所提高。

检查一下新加的扩散泵油油量和型号与所用扩散泵是否相符。

检查一下高真空规管是否被油蒸汽污染（换一只新规管试一下）以及规管连线部分是否正常。

检查一下前级真空（低真空）真空度是否正常。

检查一下被抽系统内壁是否有污染物附着（例如油蒸汽）。

如果都没有问题，那么就只能重新对系统进行检漏了。

你这情况很普遍，估计是小驴拉大车。。。一般机械泵的极限真空在20~ -1pa之间

在不漏气的情况下，低真空到高真空过度的地方会很费时间，是吸附气体和泵较劲的地方，本来泵已经快到极限了。

当你关掉阀门时，真空室内的物件包括真空壁上的吸附气体因为压差都处在放气的过程，这时你会看到真空表下降很快，你在打开阀门时就会觉得这个极限的地方过得很快。。。。。。

解决办法很多，低真空加热，换个大泵，加挂一个中间泵（罗茨泵），控制湿度。。。

很多人喜欢去弄那个气震，我的建议，油没事的情况下气震常闭。

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